[发明专利]一种超纯氢气发生器

权利要求书

1.一种超纯氢气生产方法，该方法使用超纯氢气发生器，其特征在于：超纯氢气发生器包括氢气产生装置(9)、第一电磁阀(4)、第二电磁阀(2)、金属氢化物储氢器组(3、6)、增压泵(8)、通断电磁阀(7)和减压阀(1)；

其中，所述第一电磁阀(4)和第二电磁阀(2)均为二位三通直动式电磁阀，包括端口A和端口B、端口C；

所述氢气产生装置(9)的输出端通过增压泵(8)、通断电磁阀(7)和管道连接第一电磁阀(4)的端口A，

所述第一电磁阀(4)和第二电磁阀(2)之间设有金属氢化物储氢器组(3、6)，所述金属氢化物储氢器组(3、6)包括第一金属氢化物储氢器(3)和第二金属氢化物储氢器(6)，二者并联设置，其中第一金属氢化物储氢器(3)连接第一电磁阀(4)的端口B和第二电磁阀(2)的端口C，第二金属氢化物储氢器(6)连接第一电磁阀(4)的端口C和第二电磁阀(2)的端口B；

所述第二电磁阀(2)的输出端即端口A连通减压阀(1)后连接使用氢气的系统(5)；所述氢气产生装置(9)型号为QL-2000；所述金属氢化物储氢器组(3、6)的型号都为CHM-50S；所述第一电磁阀(4)和第二电磁阀(2)的型号为ZC2/3-40P DN10；所述减压阀(1)为单级式膜片减压结构，型号为RW11LGFGG0000；所述增压泵(8)为气动增压泵；

所述方法包括步骤：

步骤一：氧气、氢气及其杂质气体在氢气产生装置中产生，氧气从氢气产生装置的的一端口排出，氢气及其杂质气体则从另一端口排出进入管道，此时第一电磁阀(4)处于关闭状态，第一电磁阀(4)的端口A与端口B连接，氢气及其杂质气体进入第一金属氢化物储氢器(3)；

步骤二：第二电磁阀(2)处于关闭状态，第二电磁阀(2)的端口A与端口B连接，使用氢气的系统(5)接收第二金属氢化物储氢器(6)释放的超纯氢气；

步骤三：当第一金属氢化物储氢器(3)储存满氢气及其杂质气体时，关闭通断电磁阀(7)，第一金属氢化物储氢器(3)排放杂质气体， 在排放完杂质气体后，打开第一电磁阀(4)，第一电磁阀(4)端口A与端口C连接，第一金属氢化物储氢器(3)停止注入氢气及其杂质气体，打开通断电磁阀(7)，氢气产生装置(9)开始往第二金属氢化物储氢器(6)中注入氢气及其杂质气体，同时打开第二电磁阀(2)，第二电磁阀(2)端口A与端口C连接，氢气从第一金属氢化物储氢器(3)端口排出，经过减压阀(1)，进入使用氢气的系统(5)；

步骤四：当第二金属氢化物储氢器(6)储存满氢气及其杂质气体时，关闭通断电磁阀(7)，排放第二金属氢化物储氢器(6)中的杂质气体后；

步骤五：再打开通断电磁阀(7)并关闭第一电磁阀(4)，氢气及其杂质气体注入第一金属氢化物储氢器(3)，同时关闭第二电磁阀(2)，第二金属氢化物储氢器(6)中氢气排出，进入使用氢气的系统(5)。