[发明专利]闸阀

说明书

技术领域

本发明涉及配置在半导体制造装置等中的真空腔之间的闸阀，更详细地涉及能够以不滑动的方式选择性地开闭通向处理腔的第一开口和通向转移腔的第二开口的闸阀。

背景技术

闸阀通常用于通向半导体制造装置等中的真空腔的开口的开闭，闸阀构成为，具有安装有阀板的阀轴以及与该阀轴连结的气缸，通过由该气缸操作所述阀轴，从而使所述阀板的密封部件与设置在所述开口周围的阀座面接触或分离来开闭该开口。

而且，关于闸阀中的所述开口的开闭操作，主要已知有以阀轴的一点为支点使其转动来开闭操作阀板的方式、以及使由阀轴及阀板构成的阀装配体相对于阀座面垂直移动来开闭操作阀板的方式。

其中特别是采用了后者的方式的闸阀，可以使阀板的密封部件的整周同时与所述开口的阀座面接触或分离地开闭该开口而不使两者相互滑动，因此，被称为不滑动型闸阀(non-slide type gate valve)，由于可以抑制由密封部件和密封面的摩擦而引起的密封部件的扭曲、磨损粉末的产生等，所以近来正被关注。

如上所述的不滑动型闸阀的一例在专利文献1中公开。如图11、图12所示，该专利文献1中记载的闸阀具有：在经由杆臂124固定于驱动杆109的一对凸轮架128的每一个上以相对于阀座面110倾斜的朝向形成的两条凸轮槽130、以及在棒部件112的左侧面和右侧面上各自分别安装有两个且与对应的各个凸轮槽130嵌合的凸轮辊133。而且，安装于凸轮辊133的停止辊136与形成于辊架132的抵接部137抵接，在棒部件112停止上升并压缩了压缩弹簧125的状态下，凸轮架128上升，各个凸轮槽130相对于对应的凸轮辊133而上升，因此，凸轮辊133被倾斜的凸轮槽130的槽壁推压，使得阀板105以及阀轴107相对于阀座面110垂直移动。

专利文献

专利文献1：日本特开2013-96557号公报

发明要解决的课题

但是，上述专利文献1中公开的不滑动型闸阀是以不滑动的方式进行与处理腔连接的一个开口的开闭的闸阀，但另一方面，为了谋求闸阀和处理腔的维护作业的高效化，针对与转移腔连接的另一个开口也能够以不滑动的方式进行开闭的闸阀被期待。

发明内容

即，本发明的目的在于提供一种闸阀，不仅针对与处理腔连接的第一开口，而且针对与转移腔连接的第二开口也能够以不滑动的方式进行开闭。

用于解决课题的方案