[发明专利]液体电子化学品定量灌装机

权利要求书

1. 一种液体电子化学品定量灌装机，其特征在于，包括净化柜、传输机构、灌装机构、贮箱；所述净化柜的洁净级数在100级以上，净化柜下部两侧开设有进闸口和出闸口；所述传输机构包括用于传输包装桶进出净化柜的传输带，传输带从进闸口向出闸口延伸并从两端延伸出净化柜；所述灌装机构位于净化柜内，包括与贮箱连通的至少一支灌装枪，灌装枪上设有用于控制灌装时间的延时开关，灌装枪的出液口向下朝向传输带；所述贮箱设有非接触式的液位侦测控制装置，液位侦测控制装置电连接第一电磁阀，贮箱的进液管路上设有第一气动隔膜调节阀，第一电磁阀设于第一气动隔膜调节阀的气源通道上。

2. 根据权利要求1所述的液体电子化学品定量灌装机，其特征在于，所述延时开关包括第二气动隔膜调节阀、第二电磁阀和延时器；其中，第二气动隔膜调节阀设在灌装枪管路上，第二电磁阀设在第二气动隔膜调节阀的气源通道上，第二电磁阀与延时器电连接；所述第一、第二气动隔膜调节阀为氟塑料为内衬的气动隔膜调节阀。

3. 根据权利要求1所述的液体电子化学品定量灌装机，其特征在于，各所述贮箱连通多支灌装枪，各灌装枪设有相应的延时开关。

4. 根据权利要求1至3任意一项所述的液体电子化学品定量灌装机，其特征在于，所述贮箱设于所述净化柜外，贮箱设有氮封系统；所述氮封系统包括一端与所述贮箱顶部连通的进气管和出气管，进气管上沿进气方向依次设有调压阀和进单向阀，出气管上沿出气方向依次设有出单向阀和呼吸阀；进气管的另一端连接压缩气源，出气管的另一端连通洗涤塔。

5. 根据权利要求1至3任意一项所述的液体电子化学品定量灌装机，其特征在于，该灌装机包括多个贮箱，所述贮箱为高位贮箱；各贮箱的进液管路与用于储存液体电子化学品的贮罐连通，所述进液管路上沿进液方向依次设有输送泵、过滤器及所述第一气动隔膜调节阀。

6. 根据权利要求5所述的液体电子化学品定量灌装机，其特征在于，各所述贮箱连通相同数量的灌装枪，各贮箱的进液管路与用于贮存不同组分的贮罐连通。

7. 根据权利要求1至3任意一项所述的液体电子化学品定量灌装机，其特征在于，所述灌装机构还包括扣压件和驱动机构；各灌装枪与扣压件相固定，驱动机构用于驱动扣压件上下运动和控制各灌装枪的下端抽出和伸入包装桶，各灌装枪的上端经软管与所述贮箱连通；且各灌装枪的下端在伸入包装桶时，扣压件下表面封住包装桶开口，且扣压件内设有与包装桶内部连通的抽风口，抽风口连接抽风软管，抽风软管与设置于所述净化柜外的抽风装置连通。

8. 根据权利要求1至3任意一项所述的液体电子化学品定量灌装机，其特征在于，所述净化柜包括柜体和100洁净级数以上的正压送风系统；柜体的前端设有柜门口以及用于密封柜门口的配重移门，柜体的顶部设有进风口，正压送风系统设在进风口处；所述正压送风系统包括用于往所述柜体送风的风机和用于过滤进入所述柜体空气的空气过滤器。

9. 根据权利要求8所述的液体电子化学品定量灌装机，其特征在于，所述空气过滤器包括初效过滤器和高效过滤器，且所述风机位于初效过滤器和高效过滤器之间。

10. 根据权利要求8所述的液体电子化学品定量灌装系统，其特征在于，所述过滤器、所述贮箱位于所述净化柜的后侧的密封柜内，且所述过滤器位于所述贮箱的下方；所述配重移门为上下推拉式的配重移门，配重移门上设有透明的观察窗。