[发明专利]压电材料、压电元件和电子装备有效
申请号: | 201410328462.6 | 申请日: | 2014-07-11 |
公开(公告)号: | CN104276820A | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 大志万香菜子;渡边隆之;村上俊介;田中秀典;林润平;斋藤宏;松田坚义 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | C04B35/49 | 分类号: | C04B35/49;C04B35/622;H01L41/187;G02B7/04;H02N2/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 魏小薇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 材料 元件 电子 装备 | ||
1.一种压电材料,包括:
主成分,包含由以下通式(1)表示的钙钛矿类型金属氧化物;
第一辅助成分,由Mn组成;以及
第二辅助成分,由Bi或者Bi和Li组成,
其中,所述Mn含量是所述金属氧化物的每100重量份的以金属换算的0.04重量份或更大并且0.400重量份或更小,所述Bi含量是所述金属氧化物的每100重量份的以金属换算的0.042重量份或更大并且0.850重量份或更小,以及所述Li含量是所述金属氧化物的每100重量份的以金属换算的0.028重量份或更小,其中包括0重量份:
(Ba1-xCax)a(Ti1-y-zSnyZrz)O3 (1)
其中,x处于0≤x≤0.080的范围中,y处于0.013≤y≤0.060的范围中,z处于0≤z≤0.040的范围中,以及a处于0.986≤a≤1.020的范围中。
2.如权利要求1所述的压电材料,还包括第三辅助成分,第三辅助成分含有Si和B中的至少一种,其中,所述第三辅助成分含量是由所述通式(1)表示的所述钙钛矿类型金属氧化物的每100重量份的以金属换算的0.001重量份或更大并且4.000重量份或更小。
3.如权利要求1或2所述的压电材料,其中,所述通式(1)中的x处于0.02≤x≤0.08的范围中。
4.如权利要求1或2所述的压电材料,其中,所述通式(1)中的x处于0.03≤x≤0.08的范围中,并且z处于0.021≤z≤0.038的范围中。
5.如权利要求1或2所述的压电材料,其中,所述压电材料含有具有0.5μm或更大并且10μm或更小的平均等效圆直径的晶体颗粒。
6.如权利要求1或2所述的压电材料,其中,所述压电材料具有93%或更大并且100%或更小的相对密度。
7.一种压电元件,包括:
第一电极;
压电材料部分;以及
第二电极,
其中,所述压电材料部分包括如权利要求1所述的压电材料。
8.一种多层化压电元件,包括:
压电材料层和电极层,交替地堆叠在彼此顶部,所述电极层包括内部电极,
其中,所述压电材料层含有如权利要求1所述的压电材料。
9.如权利要求8所述的多层化压电元件,其中,所述内部电极含有Ag和Pd,Ag的重量M1相对于Pd的重量M2的重量比率M1/M2处于0.25≤M1/M2≤4.0的范围中。
10.如权利要求8所述的多层化压电元件,其中,所述内部电极含有Ni和Cu中的至少一种。
11.一种液体排出头,包括:
液体腔室,具有振动部分,振动部分包括如权利要求7所述的压电元件或如权利要求8所述的多层化压电元件;以及
用于排出的孔,与所述液体腔室连通。
12.一种液体排出装置,包括:
台架,被配置为接纳物体;以及
如权利要求11所述的液体排出头。
13.一种超声马达,包括:
振动构件,包括如权利要求7所述的压电元件或者如权利要求8所述的多层化压电元件;以及
移动体,与所述振动构件接触。
14.一种光学装置,包括驱动单元,驱动单元包括如权利要求13所述的超声马达。
15.一种振动装置,包括振动构件,振动构件在振动板上包括如权利要求7所述的压电元件或者如权利要求8所述的多层化压电元件。
16.一种灰尘移除设备,在振动部分中包括如权利要求15所述的振动装置。
17.一种图像拾取装置,包括:
如权利要求16所述的灰尘移除设备;以及
图像拾取元件单元,其中所述灰尘移除设备的振动板被设置在所述图像拾取元件单元的光接收表面侧上。
18.一种电子装备,包括压电声学组件,压电声学组件包括如权利要求7所述的压电元件或者如权利要求8所述的多层化压电元件。
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