[发明专利]一种光学透镜的超洁净真空密封方法

说明书

技术领域

本发明涉及对真空洁净度有要求的系统中光学透镜密封带来的污染物控制技术，尤其涉及一种光学透镜的超洁净真空密封方法。

背景技术

在大功率激光泵浦光源及应用光学系统、极紫外光源光学系统、超洁净分析仪器中，大量使用光学透镜，部分透镜还需要承担不同压力差的空间之间隔离的作用，一般采用的办法有两种：一种是采用橡胶圈的真空密封方案；另一种是通过玻璃金属封接的方案将透镜封接在CF不锈钢法兰上，通过不锈钢法兰上的刀口与无氧铜密封圈的压紧密封，实现空间真空隔离。第一种方案简单易操作，但是由于使用的是橡胶圈密封，橡胶圈中所使用的增塑剂、橡胶材料本身均会在产生有机蒸汽，特别是在强光照射下，释放出有机污染物，对系统的洁净度造成影响。第二种方案能够实现无污染的真空密封，但是由于将光学透镜固定的不锈钢法兰比较重，透镜与法兰间的封接对于大尺寸的光学透镜制作困难成本高，同时对易损伤且要经常更换的光学透镜，代价太大，且更换不方便。针对两种方法的不足，并结合两种方案的优点，本发明将采用橡胶圈密封的方案中的橡胶圈用铝、锡、铅、铟、金、银等软性金属制作的金属密封圈替代，通过用光学透镜将金属密封圈在被安装装置上压紧变形，达到真空密封的目的，并克服橡胶密封圈给系统带来的污染问题，同时具备易更换操作的特点。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种光学透镜的超洁净真空密封方法，解决传统橡胶圈密封所引起真空污染问题，同时克服金属法兰密封的高成本问题，同时透镜的更换简单易操作。

技术方案：为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种光学透镜的超洁净真空密封方法，安装装置和光学透镜之间通过软性金属密封圈密封固定。

具体步骤如下：

a、在安装装置上制作放置软性金属密封圈的密封槽，所述软性金属密封圈放置在密封槽内；

b、光学透镜的四周设置有紧固件形成一体结构；

c、所述紧固件将光学透镜和软性金属密封圈压紧在密封槽内。

更进一步的，所述软性金属密封圈采用铝、锡、铅、铟、金、银或它们的合金材料制成。

更进一步的，所述软性金属密封圈的横截面为圆形或矩形或圆环形或弯月形，且其周长与密封槽的周长对应。

更进一步的，所述软性金属密封圈和密封槽形状为圆形或者方形。

更进一步的，所述紧固件为边框形结构，所述紧固件与安装装置对应面上开设有卡槽，所述卡槽的形状与光学透镜的形状相对应，所述光学透镜嵌入设置在卡槽内形成一体结构。

更进一步的，所述紧固件包括至少两个一端带有凸块的固定框，在所述光学透镜侧面设有对应凹槽，所述固定框的凸块嵌入安装在凹槽内形成一体结构。

有益效果：本发明采用软性金属密封圈密封光学透镜与被安装装置之间的真空腔，可以解决传统橡胶圈密封所引起真空污染问题，同时克服金属法兰密封的高成本问题，同时透镜的更换简单易操作。

附图说明

附图1为本发明密封固定的第一种实施例示意图。

附图2为本发明密封固定的第二种实施例示意图。

附图3为本发明光学透镜与紧固件空间位置示意图。

附图4为本发明密封槽在安装装置上的空间位置示意图。

附图5为本发明圆形光学透镜与矩形紧固件的空间位置结构示意图。

附图6为本发明环形截面软性金属密封圈截面示意图。

附图7为本发明弯月形截面软性金属密封圈截面示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作更进一步的说明。

如附图1或附图2所示，一种光学透镜的超洁净真空密封方法，安装装置2和光学透镜1之间通过软性金属密封圈3密封固定，控制由橡胶密封圈带来的有机污染物污染问题。所述软性金属密封圈3采用铝、锡、铅、铟、金、银或它们的合金材料制成。所述软性金属密封圈3的横截面为圆形或矩形或圆环形或弯月形，所述软性金属密封圈3和密封槽4形状为圆形或者方形，且软性金属密封圈3周长与密封槽4的周长对应。软性金属密封圈3的截面可以是圆形或方形或圆环性或弯月形，采用截面是圆环形的密封圈，即空心金属密封圈，目的是使密封圈易变形，起到更好密封作用。采用弯月形截面密封圈，也是使金属密封圈边缘易变形，起到好的密封作用。

具体步骤如下：

a、在安装装置2上制作放置软性金属密封圈3的密封槽4，所述软性金属密封圈3放置在密封槽4内；

b、光学透镜1的四周设置有紧固件5形成一体结构，形状如附图3所示；