[发明专利]多功能离子枪

权利要求书

1.一种多功能离子枪，其特征在于，包括电离室、第一透镜、第二透镜、第一偏转板、第二偏转板、狭缝、四通法兰、过渡法兰和锥形圆筒，所述电离室、第一透镜和第一偏转板位于四通法兰的管道内，且第一透镜位于电离室和第一偏转板之间，所述第一偏转板安装在过渡法兰的近端，电离室安装在过渡法兰的远端，第二透镜、第二偏转板和狭缝位于锥形圆筒内，第二偏转板位于第二透镜和狭缝之间，且第二透镜安装在过渡法兰的近端，狭缝安装在过渡法兰的远端，所述四通法兰和锥形圆筒通过过渡法兰连接。

2.根据权利要求1所述的多功能离子枪，其特征在于，所述电离室安装在四通法兰的第一法兰内。

3.根据权利要求2所述的多功能离子枪，其特征在于，所述电离室由阴极灯丝和阳极圆筒组成，且阴极灯丝与负电压连接，阳极圆筒与正电压连接，所述阴极灯丝的电极周围安装保护罩。

4.根据权利要求2所述的多功能离子枪，其特征在于，所述第一法兰的上端和底端对称的安装两块磁铁，通过调整磁铁间的磁场强度可改变束流大小。

5.根据权利要求1至4任一所述的多功能离子枪，其特征在于，所述电离室、第一透镜、第一偏转板、第二透镜、第二偏转板和狭缝之间的距离均可调节。

6.根据权利要求5所述的多功能离子枪，其特征在于，所述四通法兰的第二法兰可外接分子泵，达到差分抽气的目的。

7.根据权利要求5所述的多功能离子枪，其特征在于，当样品到离子枪距离小于100mm时，所述第二透镜、第二偏转板以及锥型圆筒可拆除。

8.根据权利要求5所述的多功能离子枪，其特征在于，所述电离室的进气管道上设置可调漏阀，该可调漏阀的一个分支管道与机械泵连通。

9.根据权利要求5所述的多功能离子枪，其特征在于，所述狭缝的形状、大小和安装位置均可调节。

10.根据权利要求8所述的多功能离子枪，其特征在于，所述可调漏阀的另一个分支管道与氩气罐连通。