[发明专利]一种碳基复合材料抗烧蚀涂层的制备方法无效
| 申请号： | 201410332681.1 | 申请日： | 2014-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN104087936A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 邓春明;刘敏;周克崧;韦春贝;毛杰;邓畅光;代明江;张吉阜;侯惠君 | 申请（专利权）人： | 广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院) |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04 |
| 代理公司： | 广东世纪专利事务所 44216 | 代理人： | 千知化 |
| 地址： | 510651 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合材料 抗烧蚀 涂层 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳基复合材料抗烧蚀涂层的制备方法，其特征是步骤如下：
（1）碳基复合材料的前处理：将碳基复合材料表面用砂纸打磨掉表面的毛刺，用丙酮超声清洗后烘烤，将烘干后的碳基复合材料放入真空室，压力＜5×10-3Pa，通入Ar气至2~4×10-1Pa，用离子源结合偏压轰击清洗碳基复合材料表面；
（2）制备SiC层：在氩气环境，气压0.2~2.0Pa，偏压50~200V，SiC靶功率4~12A/cm2，在碳基复合材料表面制备厚度为8~30μm的SiC层；
（3）制备ZrB2-MoSi2涂层：以喷雾造粒获得的粒径为5~60μm的ZrB2-MoSi2粉末，喷涂电压60~70V，喷涂压力10~100kPa，喷涂电流600~700A，氩气流量35~45 l/min，氢气流量为5~15 l/min，送ZrB2-MoSi2复合粉末的氩气流量2~4 l/min，送ZrB2-MoSi2复合粉末的量5~30g/min，喷涂距离100~300mm，制备ZrB2-MoSi2涂层厚度为50~300μm。
2.根据权利要求1所述的碳基复合材料抗烧蚀涂层的制备方法，其特征是所述的ZrB2-MoSi2粉末的质量比为：ZrB2∶MoSi2为20~80∶80~20。
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