[发明专利]压电材料、压电元件和电子设备有效
申请号: | 201410333817.0 | 申请日: | 2014-07-14 |
公开(公告)号: | CN104276822B | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 村上俊介;松田坚义;大志万香菜子;林润平;渡边隆之;田中秀典;斋藤宏 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | C04B35/49 | 分类号: | C04B35/49;H01L41/187 |
代理公司: | 北京魏启学律师事务所11398 | 代理人: | 魏启学 |
地址: | 日本东京都大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 材料 元件 电子设备 | ||
1.一种压电材料,其特征在于,所述压电材料包括含有式1所示钙钛矿型金属氧化物的主成分,由Mn组成的第一副成分,由Bi或Bi和Li组成的第二副成分,和由Si和B组成的第四副成分,
其中基于100重量份所述金属氧化物,以金属计,Mn的含量为0.040重量份至0.500重量份;和基于100重量份所述金属氧化物,以金属计,Bi的含量为0.042重量份至0.850重量份,Li的含量为0.028重量份以下,包括0重量份,和
其中,基于100重量份所述式1所示的钙钛矿型金属氧化物,以金属计,所述第四副成分的含量为0.001重量份至4.000重量份,
(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3 (1),
其中,0.030≤x<0.090,0.030≤y≤0.080,和0.9860≤a≤1.0200。
2.根据权利要求1所述的压电材料,其进一步包括由Mg组成的第三副成分,其中
基于100重量份所述式1所示的钙钛矿型金属氧化物,以金属计,所述第三副成分的含量为0.10重量份以下,排除0重量份。
3.根据权利要求1或2所述的压电材料,其中构成所述压电材料的晶粒具有500nm至10μm的平均圆当量直径。
4.根据权利要求1或2所述的压电材料,其具有93%至100%的相对密度。
5.根据权利要求1或2所述的压电材料,其具有在1kHz频率下的介电损耗为0.006以下。
6.一种压电元件,其至少包括:第一电极,压电材料部,和第二电极,其特征在于,构成所述压电材料部的压电材料为根据权利要求1至5任一项所述的压电材料。
7.一种多层压电元件,其包括交替层压的压电材料层和各自包含内部电极的电极层,其特征在于,所述压电材料层由根据权利要求1至5任一项所述的压电材料制成。
8.根据权利要求7所述的多层压电元件,其中所述内部电极包含Ag和Pd,使得Ag的含量M1与Pd的含量M2的重量比M1/M2为0.25≤M1/M2≤4.0。
9.根据权利要求7所述的多层压电元件,其中所述内部电极包含Ni和Cu中的至少一种。
10.一种液体排出头,其特征在于,所述液体排出头至少包括设置有包含根据权利要求6所述的压电元件或根据权利要求7所述的多层压电元件的振动部的液室,和与所述液室连通的排出口。
11.一种液体排出装置,其特征在于,所述液体排出装置包括用于输送记录介质的输送部和根据权利要求10所述的液体排出头。
12.一种超声波马达,其特征在于,所述超声波马达至少包括包含根据权利要求6所述的压电元件或根据权利要求7所述的多层压电元件的振动体,和与所述振动体接触的移动体。
13.一种光学设备,其特征在于,所述光学设备包括在驱动部内的根据权利要求12所述的超声波马达。
14.一种振动装置,其特征在于,所述振动装置包括包含设置有根据权利要求6所述的压电元件或根据权利要求7所述的多层压电元件的振动板的振动体。
15.一种除尘装置,其特征在于,所述除尘装置包括设置有根据权利要求14所述的振动装置的振动部。
16.一种摄像装置,其特征在于,所述摄像装置至少包括根据权利要求15所述的除尘装置和摄像元件单元,其中所述除尘装置的振动板设置在所述摄像元件单元的光接收面侧。
17.一种电子设备,其特征在于,所述电子设备包括包含根据权利要求6所述的压电元件或根据权利要求7所述的多层压电元件的压电声学组件。
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