[发明专利]基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法

说明书

本申请是申请号为201310116487.5的名称为“基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法”的发明专利申请的分案申请，原申请的申请日是2013年04月03日。

技术领域

本发明有关于对包含使用于液晶显示装置等显示面板的玻璃基板等母板的各种材料的母板进行分断、搬送的基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法，更有关于在对已刻划、分断的脆性材料基板进行搬送至下一阶段时，能够对基板在不造成损伤、良好的状态下进行搬送的基板分断装置及基板搬送方法。

背景技术

一般而言，液晶显示装置等显示面板，通常使用脆性材料基板即玻璃基板形成。液晶显示装置，借由将一对玻璃基板隔有适当的间隔而接合，且在该间隔内封入液晶而成为显示面板。在制造如此的显示面板时，是借由对已接合母玻璃基板的接合母基板进行分断，而进行从接合母基板制作成多个显示面板的加工。用于分断如此的接合母基板的基板分断装置，揭示于韩国公开特许公报第2006-0125915号(以下，称为专利文献1)。

图1，概略地表示揭示于专利文献1的图32的基板分断装置的主要构成的立体图。参照图1，基板分断装置200具备定位单元部220、刻划单元部240、裂断传送(conveyor)部260、蒸气(steam)裂断单元部280、面板反转单元部320及面板端子分离部340。

在将配置有定位单元部220侧设定为基板搬入侧、将配置有面板端子分离部340侧设定为基板搬出侧时，基板在由基板搬入侧的定位单元部220供给后，一边依序往刻划单元部240、裂断传送部260、蒸气裂断单元部280、基板搬送单元部300、面板反转单元部320及面板端子分离部340搬送，一边进行基板分断作业，之后往基板搬出侧搬送。

亦即，由于设置于设置台230上方的定位单元部220供给的基板，载置于形成在定位单元部220的多个基板支持单元(未图示)上，在将基板的位置定位于设置于基板支持单元的带部(belt)(未图示)上后，借由带部的旋转动作而往下一阶段即刻划单元部240搬送。

另一方面，刻划单元部240，具有在设置台250上方沿X方向设置的分断装置导引体242，以及将该分断装置导引体242夹于其间并沿Y方向配置的第1基板支持单元部241A及第2基板支持单元部241B。此外，第1基板支持单元部241A的第1基板支持单元244A与第2基板支持单元部241B的第2基板支持单元244B，分别相对于构架(frame)243A及构架243B平行地配置。

在此情形，从定位单元部220往刻划单元部240搬送的基板，载置于第1基板支持单元部241A的第1基板支持单元244A，且借由夹器(clamp)装置251而夹持。之后，一旦使设置于第1基板支持单元244A的带部旋转，同时使夹器装置251沿Y方向移动，借此使基板通过分断装置导引体242而刻划，且刻划后的基板往第2基板支持单元部241B的第2基板支持单元244B搬送。

已往第2基板支持单元244B搬送的基板，借由设置于第2基板支持单元244B的带部旋转，往与第2基板支持单元244B的带部分离而设置的裂断传送部260的带部261搬送，之后借由蒸气裂断单元部280使基板完全地分断，且经过基板搬送单元部300、面板反转单元部320及面板端子分离部340，借由机器人等往基板搬出侧搬送。

此外，一般而言，已完成刻划作业且往第2基板支持单元244B的带部上搬送的基板，借由第2基板支持单元244B的带部与裂断传送部260的带部261的旋转而往裂断传送部260搬送。已完成往裂断传送部260搬送的基板，在裂断传送部260的带部261的旋转已停止的状态，借由蒸气裂断单元280而裂断后，借由拾起(pick-up)机器人等拾起，且往基板搬送单元部300排出。此外，即使在裂断传送部260的带部261的旋转已停止的状态，为了基板的刻划，构成刻划单元部240的第1基板支持单元244A及第2基板支持单元244B的带部仍以持续旋转的方式控制。

专利文献1：韩国公开专利公报第2006-0125915号。

但是，在如此般的现有习知的基板分断装置中，已刻划的基板从刻划单元部240往裂断传送部260搬送时，更具体而言，从第2基板支持单元244B往裂断传送部260搬送时，由于在第2基板支持单元244B的带部与裂断传送部260的带部261之间进行带部的移载，使得在第2基板支持单元244B与裂断传送部260之间端材落下、或基板破裂的玻璃碎屑等产生。关于如此般的带部移载的问题点，参照图2更具体地进行说明。