[发明专利]模块式扫描探针显微镜用探针架有效
| 申请号： | 201410334873.6 | 申请日： | 2014-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN104155479A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 陈莉;李克洪;刘军山;刘冲 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01Q70/02 | 分类号： | G01Q70/02 |
| 代理公司： | 大连非凡专利事务所 21220 | 代理人： | 曲宝威 |
| 地址： | 116000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模块 扫描 探针 显微镜 | ||
1.一种模块式扫描探针显微镜用探针架，包括支架（1），在支架（1）上有线路板（2）和安装探针（10）的夹持架（3），其特征在于：所述的线路板（2）与支架（1）之间为插槽式连接，所述的夹持架（3）与支架（1）之间为分体式并夹持架（3）插入支架（1）内，夹持架（3）与支架（1）形成镶嵌结构。
2.根据权利要求1所述的模块式扫描探针显微镜用探针架，其特征在于：所述的夹持架（3）上设有信号窗（11）和手持框（12），在夹持架（3）上设有斜向平面，在该斜向平面上固定压电片（9），在压电片（9）上设有固定座（8），在夹持架（3）的端头通过螺钉（4）固定连接有弹性片（7），弹性片（7）的端头压在所述的固定座（8）上，探针（10）通过弹性片（7）和固定座（8）夹持。
3.根据权利要求2所述的模块式扫描探针显微镜用探针架，其特征在于：所述的夹持架（3）上通过转轴（5）安装有顶靠弹性片（7）的凸轮（6），所述的凸轮（6）位于弹性片（7）的下方，转轴（5）上接有手柄（14）。
4.根据权利要求3所述的模块式扫描探针显微镜用探针架，其特征在于：所述的固定座（8）上设有安装探针（10）的定位槽，该定位槽有定位槽底面（18）、定位槽端面（16）和定位槽侧面（17），定位槽端面（16）和定位槽侧面（17）相互垂直，定位槽端面（16）和定位槽侧面（17）同时垂直于定位槽底面（18），在靠近定位槽端面（16）处固定座（8）上设有装夹槽（15）。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连理工大学，未经大连理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410334873.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
