[发明专利]用于弯曲对象的表面处理设备

权利要求书

1.一种用于弯曲对象的表面处理设备，包括：

高电压电极单元，其包括沿着向下凸的弯曲表面布置的多个杆形高电压电极，所述弯曲表面的曲率对应于待处理的弯曲对象的曲率；

壳体，其在与高电压电极单元间隔开的位置覆盖高电压电极单元的上部；

等离子体发射单元，其设置在壳体下部以下并接地，等离子体发射单元形成包围高电压电极单元的向下凸的弯曲表面，等离子体发射单元具有与弯曲对象的曲率相同的曲率，并放射状地发射已穿过高电压电极单元的等离子体，并且具有按照规则间隔排列的多个等离子体发射孔；

反应气体供应单元，其安装在壳体中，反应气体供应单元将反应气体供应至其中设置有高电压电极单元的空间中；以及

冷却单元，其设置在壳体的中心部分中，冷却单元被构造为按照冷却剂循环通过冷却单元的方式使壳体和高电压电极单元冷却。

2.根据权利要求1所述的表面处理设备，其特征在于，杆形高电压电极的每一个包括：

高电压电极体，其设置在杆形高电压电极的中心位置；以及

外部介电对象，其设置成围绕高电压电极体的外表面，外部介电对象由具有预定厚度的陶瓷材料制成。

3.根据权利要求1所述的表面处理设备，其特征在于，等离子体发射单元以可拆卸的方式结合至壳体的下部。

4.根据权利要求1所述的表面处理设备，其特征在于，还包括：

支承夹具，其设置在等离子体发射单元的下方，支承夹具具有弯曲表面，其对应于等离子体发射单元的弯曲表面，从而支承夹具与等离子体发射单元的下表面以恒定距离间隔开，其中，待处理的弯曲对象布置在支承夹具上。

5.根据权利要求4所述的表面处理设备，其特征在于，还包括：

水平传送装置，其用于沿着对应于支承夹具的纵向的方向水平地传送表面处理设备。