[发明专利]半导体封装模具、封装结构及封装方法有效
申请号: | 201410337164.3 | 申请日: | 2014-07-15 |
公开(公告)号: | CN105269758B | 公开(公告)日: | 2018-01-02 |
发明(设计)人: | 蔡坚;陈钏;谭琳;王谦 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | B29C45/26 | 分类号: | B29C45/26;B29C45/14;H01L21/56 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人: | 南毅宁,桑传标 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 模具 结构 方法 | ||
1.一种半导体封装模具,该封装模具包括下模具(102)和倒扣在该下模具(102)上的上模具(101),其特征在于,所述上模具(101)的下表面(101a)和所述下模具(102)的上表面(102a)形成为凹凸匹配的曲面;
其中,在所述下模具(102)的上表面(102a)上贴合有带有芯片的基板,以及在该上表面(102a)与所述上模具(101)的下表面(101a)之间容纳有用于对该芯片进行封装的封装层;以及
在所述基板的热膨胀系数小于所述封装层的热膨胀系数的情况下,所述下表面(101a)形成为向上凹进的曲面,以及所述上表面(102a)形成为向上凸起的曲面;
在所述基板的热膨胀系数大于所述封装层的热膨胀系数的情况下,所述下表面(101a)形成为向下凸起的曲面,以及所述上表面(102a)形成为向下凹进的曲面。
2.根据权利要求1所述的封装模具,其特征在于,
所述基板与所述封装层的热膨胀系数的差异越大,所述下表面(101a)形成的曲面和所述上表面(102a)形成的曲面的曲率越大;以及
所述基板与所述封装层的热膨胀系数的差异越小,所述下表面(101a)形成的曲面和所述上表面(102a)形成的曲面的曲率越小。
3.根据权利要求1所述的封装模具,其特征在于,所述下表面(101a)与所述上表面(102a)之间的间距相等。
4.根据权利要求1所述的封装模具,其特征在于,所述下表面(101a)和所述上表面(102a)分别沿所述封装模具的长度方向和宽度方向对称。
5.根据权利要求1所述的封装模具,其特征在于,所述上模具(101)包括第一组块(1011)和第一框架(1012),所述第一框架(1012)上形成有第一凹槽(1012a),所述第一组块(1011)被可拆卸地嵌入在该第一凹槽(1012a)中,所述第一组块(1011)被暴露的表面形成为所述上模具(101)的所述下表面(101a)。
6.根据权利要求1-5中任一权利要求所述的封装模具,其特征在于,所述下模具(102)包括第二组块(1021)和第二框架(1022),所述第二框架(1022)上形成有第二凹槽(1022a),所述第二组块(1021)被可拆卸地嵌入在该第二凹槽(1022a)中,所述第二组块(1021)被暴露的表面形成为所述下模具(102)的所述上表面(102a)。
7.一种利用权利要求1-6中任一权利要求所述的半导体封装模具进行半导体封装的方法,该方法包括:
在基板上布置至少一个芯片,并将所述至少一个芯片与所述基板电连接;
将所述基板贴合在所述封装模具的下模具(102)的上表面(102a)上;
将所述封装模具的上模具(101)倒扣在所述下模具(102)之上;以及
在所述上模具(101)的下表面(101a)与所述下模具(102)的上表面(102a)之间注塑封装层,以对所述至少一个芯片进行封装。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,该方法还包括:在将所述基板贴合在所述封装模具的下模具(102)的上表面(102a)上之前,根据所述基板与所述封装层的热膨胀系数的差异,选择合适的封装模具。
9.一种使用权利要求7或8所述的方法制成的半导体封装结构。
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