[发明专利]一种真空隔离阀、真空隔离阀中的波纹管及其制造方法

权利要求书

1.一种真空隔离阀，包括阀体（1）、阀盖（2）、阀芯（3）、阀杆（4），所述阀盖（2）连接在阀体（1）上方，所述阀芯（3）滑动连接在阀体（1）腔体内部，所述阀杆（4）贯穿阀盖（2），一端与阀芯（3）固定连接在一起，所述阀体（1）包括：限位板（1a）、管道（1b）、阀柱（1c），所述阀柱（1c）连接在管道（1b）上表面，限位板（1a）则连接在管道（1b）下表面，其特征在于：所述阀杆（4）外还包覆有一个波纹管（5），波纹管（5）两端分别与阀盖（2）和阀芯（3）密封连接；

所述阀杆（4）与阀盖（2）之间设置机械密封；

所述阀体（1）与阀盖（2）之间采用固定连接；

所述阀柱（1c）和限位板（1a）与管道（1b）均采用固定连接；

所述阀芯（3）与阀体（1）之间设置内密封。

2.根据权利要求1所述的一种真空隔离阀，其特征在于：所述阀体（1）与阀盖（2），阀柱（1c）和限位板（1a）与管道（1b）采用的固定连接方式为焊接，所述焊接时候采用的温度为650°以上，所述焊接时使用的焊丝含锡为50%。

3.根据权利要求1所述的一种真空隔离阀，其特征在于：所述阀芯（3）与阀体（1）之间设置内密封为：所述在阀芯（3）与阀体（1）的接触面上均堆焊有一层合金层，并在合金层外喷涂一层涂层，主要成分为铜、铬、钼。

4.根据权利要求1所述的一种真空隔离阀，其特征在于：所述阀杆（4）与阀盖（2）之间设置机械密封为：所述阀盖（2）中心位置设有内螺纹，阀杆（4）的外圆表面设有外螺纹，所述阀盖（2）和阀杆（4）通过内外螺纹配合的方式配合密封在一起,同时在位于阀盖（2）上端的阀杆（4）部分四周通过固定座（6）设有一个轴承（7）。

5.根据权利要求1所述的一种真空隔离阀，其特征在于：所述波纹管（5）两端分别与阀盖（2）和阀芯（3）的密封连接结构为：所述波纹管（5）两端分别设有外螺纹，所述阀盖（2）的下表面和阀芯（3）的上表面分别设有内外螺纹，所述波纹管（5）通过螺纹连接在阀盖（2）和阀芯（3）上，其次在采用焊接的方式对波纹管（5）与阀盖（2）和阀芯（3）的连接处固定。

6.一种权利要求1所述的真空隔离阀中的波纹管，其特征在于：所述波纹管为双壁均涂覆有改性聚偏氟乙烯涂层的波纹管；所述改性聚偏氟乙烯涂层包括白炭黑粉体、不饱和酸、EVA树脂颗粒和聚偏氟乙烯树脂颗粒。

7.根据权利要求6所述的真空隔离阀中的波纹管，其特征在于：所述聚偏氟乙烯涂层包括20-25wt%白炭黑粉体、5-10wt%不饱和酸、10-15wt%EVA树脂颗粒和50-60wt%聚偏氟乙烯树脂颗粒。

8.根据权利要求6或7所述的真空隔离阀中的波纹管，其特征在于：所述改性聚偏氟乙烯涂层的厚度为0.4～0.6μm。

9.根据权利要求8所述的真空隔离阀中的波纹管，其特征在于：所述改性聚偏氟乙烯涂层的厚度为0.5μm。

10.一种权利要求6所述的真空隔离阀中的波纹管的制造方法，包括卷绕金属波纹层和成型，其特征在于：所述卷绕金属波纹层前，在金属波纹层内壁和外壁上依次涂有改性聚偏氟乙烯涂层，涂层具体步骤为：

将平板金属网内壁按平板金属网中的四边形单元网格两对角线分别与筒形模具的轴向和径向相一致的方向慢慢刷涂改性聚偏氟乙烯材料； 

一层刷涂完成后，室温干燥0.2-0.5h，继续刷涂第二层改性聚偏氟乙烯材料，控制刷涂第二层时间为0.3-0.5h；控制涂层总厚度为0.4～0.6μm。