[发明专利]感光性聚硅氧烷组合物及其应用

说明书

本发明提供了一种感光性聚硅氧烷组合物及由该感光性聚硅氧烷组合物所形成的薄膜，其用于形成TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜或光波导路的芯材或包覆材的保护膜，该薄膜具有表面平坦性佳、图案具高锥度角等特性。该感光性聚硅氧烷组合物包含：聚硅氧烷聚合物A、邻萘醌二叠氮化合物B、含硅烷基的碱可溶性树脂C以及溶剂D。

技术领域

本发明有关于一种适用于液晶显示元件、有机EL显示元件等的TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜或光波导路的芯材或包覆材的感光性聚硅氧烷组合物，及由其形成的薄膜、及具有该薄膜的元件。其中，特别是提供一种曝光、显影后形成的具有表面平坦性佳、图案具高锥度角等特性的感光性聚硅氧烷组合物。

背景技术

近年来，在半导体工业、液晶显示器或有机电激发光显示器等领域中，随着尺寸的日益缩小化，对于微影工艺中所需的图案的微细化要求也日益增高。为了达到微细化的图案，一般通过具有高解析及高感度的正型感光性材料经曝光及显影而形成，其中，以聚硅氧烷聚合物为成分的正型感光性材料渐成为业界使用的主流。

日本特开2008-107529号揭示一种可形成高透明度的硬化膜的感光性树脂组合物。该组合物中使用含环氧丙烷基或丁二酸酐基的聚硅氧烷聚合物，其于共聚合时经开环反应形成亲水性的结构，虽可在稀薄碱性显影液下得到高溶解性，然而，该感光性树脂组合物的表面平坦性不佳、图案锥度角低仍无法令业界所接收。

因此，如何同时达到目前业界对高透明性及表面平坦性佳、图案锥度角高的要求，为本发明所属技术领域中努力研究的目标。

发明内容

本发明利用提供特殊聚硅氧烷聚合物及含硅烷基的碱可溶性树脂的成分，而得到透明性、表面平坦性佳及图案锥度角高的感光性聚硅氧烷组合物。

因此，本发明提供一种感光性聚硅氧烷组合物，其包含：

聚硅氧烷聚合物(A)；

邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；

含硅烷基的碱可溶性树脂(C)；以及

溶剂(D)。

本发明所提供的感光性聚硅氧烷组合物，优选的，所述含硅烷基的碱可溶性树脂(C)由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(c-1)、结构式(1)所示的含硅烷基的不饱和化合物(c-2)及/或其他不饱和化合物(c-3)经聚合反应而得的树脂：

其中：

R¹代表氢原子或甲基；

a代表1至6的整数；

R²及R³独立代表具有1至12个碳原子的烷基、苯基、具有1至6个碳原子的烷氧基或结构式(2)所示的基团；

b代表1至150的整数；当R²及R³为多个基团时，各个R²及R³为相同或不同；

R⁴代表具有1至6个碳原子的烷基或结构式(3)所示的基团；

其中：

R⁵、R⁶及R⁷独立代表具有1至12个碳原子的烷基或苯基；

c代表2至13的整数；当R⁶及R⁷为多个基团时，各个R⁶及R⁷为相同或不同；及

其中：