[发明专利]阵列基板及其制造方法

权利要求书

1.一种阵列基板的制造方法，包括：

提供一基板，所述基板上具有显示区域；

形成多个像素结构在所述显示区域，至少一个像素结构的制造方法包括：

在所述基板上依次形成图案化第一金属层、栅极绝缘层以及图案化第二金属层，其中，所述图案化第一金属层包括栅线和与所述栅线绝缘设置的浮动金属图案，所述图案化第二金属层包括数据线、源极和漏极，所述数据线经由所述栅极绝缘层与所述浮动金属图案对应设置；

在所述图案化第二金属层上形成图案化保护层，所述图案化保护层上具有露出部分漏极的过孔；

在所述图案化保护层上形成图案化导电层而作为像素电极，所述像素电极通过所述过孔与所述漏极电连接。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述浮动金属图案被设置为垂直所述栅线方向且与所述栅线之间存在间隔。

3.根据权利要求1或2所述的制造方法，其中，所述浮动金属图案为矩形图案时，所述浮动金属图案的宽度小于或等于所述数据线的宽度。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其中，采用钽、钼钽、铬、铝、钛铝钛、铝钼、钼钽和钼钨中的任一种材料制成所述浮动金属图案。

5.一种阵列基板，包括：

基板，所述基板上具有显示区域；

形成在所述显示区域的多个像素结构，至少一个像素结构包括：

图案化第一金属层，所述图案化第一金属层包括栅线和与所述栅线绝缘设置的浮动金属图案；

栅极绝缘层，其设置在所述图案化第一金属层上；

图案化第二金属层，其设置在所述栅极绝缘层上，所述图案化第二金属层包括数据线、源极和漏极，所述数据线经由所述栅极绝缘层与所述浮动金属图案对应设置；

图案化保护层，其设置在所述图案化第二金属层上，且所述图案化保护层上具有露出部分漏极的过孔；

图案化导电层，其设置在所述图案化保护层上，且作为像素电极，所述像素电极通过所述过孔与所述漏极电连接。

6.根据权利要求5所述的阵列基板，其中，所述浮动金属图案垂直所述栅线方向且与所述栅线之间存在间隔。

7.根据权利要求5或6所述的阵列基板，其中，所述浮动金属图案为矩形图案时，所述浮动金属图案的宽度小于或等于所述数据线的宽度。

8.根据权利要求5所述的阵列基板，其中，所述浮动金属图案采用钽、钼钽、铬、铝、钛铝钛、铝钼、钼钽和钼钨中的任一种材料制成。