[发明专利]微机电系统的可动载具结构有效
| 申请号： | 201410346693.X | 申请日： | 2014-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN104348326B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 林素贞;吴名清 | 申请（专利权）人： | 智动全球股份有限公司 |
| 主分类号： | H02K33/02 | 分类号： | H02K33/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 朱振德 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 系统 可动载具 结构 | ||
1.一种微机电系统的可动载具结构，应用微机电系统技术于一硅基板形成的可动载具结构，其特征在于，该可动载具结构包括：
一第一框架部；
一第二框架部，该第二框架部设置于第一框架部内，且该第二框架部上设有一第一导电线圈回路；
二组第一弹簧结构，二组该第二框架部分别设于该第二框架部在第一直线移动方向的二侧，用以连接该第二框架部于该第一框架部内，且在该第二框架部直线移动时提供弹性回复力；
一可动承载部，该可动承载部设置于该第二框架部内，且该可动承载部上设有一第二导电线圈回路；及
二组第二弹簧结构，二组该第二弹簧结构分别设于该可动承载部在第二直线移动方向的二侧，用以连接该可动承载部于该第二框架部内，且在该可动承载部直线移动时提供弹性回复力。
2.如权利要求1所述的微机电系统的可动载具结构，其特征在于，其中，该第一直线移动与该第二直线移动的方向互相垂直。
3.如权利要求1所述的微机电系统的可动载具结构，其特征在于，其中，该第一导电线圈回路设置于该第二框架部的一表面，该第二导电线圈回路设置于该可动承载部的一表面。
4.如权利要求1所述的微机电系统的可动载具结构，其特征在于，其中，该第一导电线圈回路内嵌设置于该第二框架部的一表面，该第二导电线圈回路内嵌设置于该可动承载部的一表面。
5.如权利要求1所述的微机电系统的可动载具结构，其特征在于，其中，该第一导电线圈回路设置于该第二框架部的上、下表面，该第二导电线圈回路设置于该可动承载部的上、下表面。
6.如权利要求1所述的微机电系统的可动载具结构，其特征在于，其中，该第一导电线圈回路内嵌设置于该第二框架部的上、下表面，该第二导电线圈回路内嵌设置于该可动承载部的上、下表面。
7.如权利要求1所述的微机电系统的可动载具结构，其特征在于，其中，该第一导电线圈回路环绕设置于该第二框架部，该第二导电线圈回路环绕设置于该可动承载部。
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