[发明专利]压电膜制造方法、振动片、振子、振荡器、设备和移动体在审
| 申请号： | 201410347246.6 | 申请日： | 2014-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN104333338A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 山崎隆;岩本修 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 制造 方法 振动 振荡器 设备 移动 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电膜制造方法，其特征在于，
所述压电膜制造方法包括以下工序：在N2气体和Ar气体的混合气氛中，将Al-Cu合金作为成膜材料，使用溅射法形成压电膜。
2.根据权利要求1所述的压电膜制造方法，其特征在于，
作为所述成膜材料的所述Al-Cu合金中的Cu的含有率在0.25％质量百分比～1.0％质量百分比的范围内。
3.根据权利要求1所述的压电膜制造方法，其特征在于，
作为所述成膜材料的Al-Cu合金中的Cu的含有率在0.4％质量百分比～0.6％质量百分比的范围内。
4.根据权利要求1所述的压电膜制造方法，其特征在于，
所述N2气体与所述Ar气体的混合比在N2气体50％体积百分比：Ar气体50％体积百分比～N2气体99％体积百分比：Ar气体1％体积百分比的范围内。
5.一种振动片，其特征在于，
所述振动片具有基部和从所述基部延伸的振动臂，
所述振动臂具有在晶界中含有Cu的压电膜。
6.一种振子，其特征在于，该振子具有：
权利要求5所述的振动片；以及
收纳所述振动片的封装。
7.一种振荡器，其特征在于，该振荡器具有：
权利要求5所述的振动片；以及
使所述振动片振荡的振荡电路。
8.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求5所述的振动片。
9.一种移动体，其特征在于，该移动体具有权利要求5所述的振动片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410347246.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
