[发明专利]用于微细加工原子钟、磁力计和其它装置的多腔汽室结构

说明书

本发明涉及用于微细加工原子钟、磁力计和其它装置的多腔汽室结构。一种设备包括具有由一个或更多个通道流体连接的多个腔的汽室。所述腔的至少一个经配置以接收能够分解成一种或更多种气体的第一材料，所述一种或更多种气体包含在汽室内。所述腔的至少一个经配置以接收能够吸收一种或更多种气体的至少一部分的第二材料。汽室可以包括经配置以接收第一材料的第一腔和通过至少一个第一通道流体连接到第一腔的第二腔，其中第二腔经配置以接收气体(一种或更多种)。汽室还可以包括通过至少一个第二通道流体连接到第一腔和第二腔中的至少一个的第三腔，其中第三腔经配置以接收第二材料。

技术领域

本发明一般涉及气室(gas cell)。更具体地，本发明涉及用于微细加工原子钟、磁力计和其它装置的多腔汽室(vapor cell)结构。

背景技术

各种类型的装置使用气室内的放射气体或其它气体运转。例如，微细加工原子钟(MFAC)和微细加工原子磁力计(MFAM)通常包括含有金属蒸汽和缓冲气体的腔。在一些装置中，通过将叠氮化铯(CsN₃)分解成铯蒸汽和氮气(N₂)来生成金属蒸汽和缓冲气体。

发明内容

本公开提供一种用于微细加工原子钟、磁力计和其它装置的多腔汽室结构。

在第一实例中，一种设备包括具有通过一个或更多个通道流体连接的多个腔的汽室。所述腔的至少一个经配置以接收能够分解成一种或更多种气体的第一材料，所述一种或更多种气体包含在汽室内。所述腔的至少一个经配置以接收能够吸收一种或更多种气体的至少一部分的第二材料。

在第二实例中，一种系统包括汽室和照明源。汽室包括通过一个或更多个通道流体连接的多个腔。所述腔的至少一个经配置以接收能够分解成一种或更多种气体的第一材料，所述一种或更多种气体包含在汽室内。所述腔的至少一个经配置以接收能够吸收一种或更多种气体的至少一部分的第二材料。照明源经配置以引导辐射通过所述腔的至少一个。

在第三实例中，一种方法包括，在具有通过一个或更多个通道流体连接的多个腔的汽室中，将第一材料放置在所述腔的至少一个中以及将第二材料放置在所述腔的至少一个中。所述方法还包括将所述第一材料的至少一部分分解成包含在汽室内的一种或更多种气体。所述方法进一步包括使用第二材料吸收一种或更多种气体的至少一部分。

根据下面附图、说明和权利要求，本发明其它技术特征对于本领域的技术人员来说是明显的。

附图说明

为了更充分理解本发明及其特征，现在结合附图参照下面描述，其中：

图1到图6示出根据本公开的示例性多腔汽室结构和制造技术；

图7到图8示出根据本公开的包含至少一个多腔汽室结构的示例性装置；

图9示出根据本公开的用于形成多腔汽室结构的示例性方法。

具体实施方式

在本申请文件中，下面讨论的图1到图9和各种实例仅通过示例的方式用于描述本发明的原理，并不应该被解释为以任何方式限制本发明的范围。本领域的技术人员将理解，本发明的原理可以以任何合适的方式实施，并且在任何类型的适当配置的装置或系统中实施。

图1到图6示出根据本公开的一种示例性多腔汽室结构和制造技术。多腔汽室结构能够用于，例如，接收基于碱金属的材料(诸如，叠氮化铯)以及允许将基于碱金属的材料分解成金属蒸汽和缓冲气体(诸如，铯蒸汽和氮气)。然而，这代表多腔汽室结构的一个示例性用途。在此描述的汽室结构可以以任何其它合适的方式使用。