[发明专利]真空泵前置过滤设备

说明书

技术领域

本发明一种过滤设备，尤指一种透过旋转过滤网即可达到清洁过滤网上的微粒，且无须拆卸即可重复使用的真空泵前置过滤设备。

背景技术

按，目前在制程中会产生高浓度微粒的产业大多是太阳能、半导体以及部分化工，其中特别是单晶炉，为能减少因为制程物的微粒进入帮浦腔室沉积导致造成真空泵转子卡死，甚至于损坏，因此目前的作法是加装过滤器设备，透过过滤方式将前述的微粒去除，进而有效延长真空泵使用寿命。

然，现阶段的过滤器设备于使用一段时间后必须将其内部的过滤网抽离后清洁，不管是利用气体吹凈过滤网或是更换新的过滤网，于清洁时仍必须拆卸过滤器设备，此种方式不仅在清洁时费工费时，且不定时的更换过滤网易导致成本增加。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种过滤设备，其利用过滤网可将高浓度微粒透过进气口可直接被过滤网阻隔而达到过滤效果，完成过滤的气体再由出气口排出，而后在利用旋转过滤网可达到清洁效果，且过程完全不需要拆下过滤网。

一种真空泵前置过滤设备，其特征在于：

其包括

一过滤桶，该过滤桶形成一腔室、一与该腔室相通的进气口及出气口及一位于该过滤桶下方且与该腔室相通的集尘区；

一过滤网，该过滤网以一轴心方向围绕并装设于该腔室；及

一致动器，该致动器装设有一连接该过滤网并可转动该过滤网的转轴，且该转轴设置一装设于该过滤桶并将该腔室与该转轴密封的联轴器。

其中该出气口连接一真空泵。

其中该过滤网形成复数网目。

其中该致动器为人力手摇或机械力其中之一者。

其中该机械力为马达。

其中该联轴器亦可为磁性联轴器。

通过上述设计方案，本发明可以带来如下有益效果：本发明一种真空泵前置过滤设备，其包括：一过滤桶，该过滤桶形成一腔室、一与该腔室相通的进气口及出气口及一位于该过滤桶下方且与该腔室相通的集尘区；一过滤网，该过滤网以一轴心方向围绕并装设于该腔室；及一致动器，该致动器装设有一连接该过滤网并可转动该过滤网的转轴，且利用联轴器密封其转轴。

根据本发明之一实施例，其中该出气口连接一真空泵。

根据本发明之一实施例，其中该过滤网形成复数网目。

根据本发明之一实施例，其中该致动器为人力手摇或机械力其中之一者。

根据本发明之一实施例，其中该机械力为马达。

根据本发明之一实施例，其中该联轴器亦可为磁性联轴器。

本发明可进行逆洗功能，其主要由出气口进气，再由进气口排气，藉由逆向气体将过滤网上的微粒吹落，让残留在过滤网上的微粒可脱离并落在集尘区，进而达到无须拆卸过滤网即可清洁之目的。

本发明利用收集装置可将清洁后累积的微粒沉积进行处理。

本发明内部组件少，故发生故障机率相对低。

本发明制造成本较为低廉、组装容易。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的说明：

图1为本发明较佳实施例的示意图。

图2为本发明进气过滤微粒的作动示意图。

图3为本发明转动过滤网并清除附着微粒的作动示意图。

图4为本发明进行逆洗功能的作动示意图。

图5为本发明过滤微粒的路径示意图。

图6为本发明另一较佳实施例的示意图。

具体实施方式

以下藉由特定的具体实例说明本发明的实施方式，熟悉此技艺的人士可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的优点及功效。本发明亦可以其它不同的方式予以实施，即，在不悖离本发明所揭示的范畴下，能予不同的修饰与改变。

请参阅图1所示，为本发明较佳实施例的示意图。本发明为一种真空泵前置过滤设备1，其主要由过滤桶10、过滤网12及致动器14组成，其中过滤桶10形成一腔室100、一与该腔室100相通的进气口102及出气口104及一位于该过滤桶10下方且与该腔室100相通的集尘区106，而过滤网12则以一轴心方向2围绕并装设于该腔室100，另外，致动器14装设有一连接该过滤网12并可转动该过滤网12的转轴140，且该转轴140设置一装设于该过滤桶10并将该腔室100与该转轴140密封的联轴器142。