[发明专利]颗粒筛选装置

权利要求书

1.一种颗粒筛选装置，包括：

衬底，包括第一侧以及与第一侧相对的第二侧；

在衬底上形成的微孔阵列，每一微孔从第一侧到第二侧贯穿衬底，且其尺寸被设置为至少允许尺寸小于目标颗粒的颗粒通过；以及

在衬底的第一侧和第二侧中至少一侧上在至少一部分微孔周围形成的电极，所述电极配置为接收电压以在相应微孔处产生电场，使得目标颗粒在所述电场中能够实现介电电泳而向微孔或电极处吸引。

2.根据权利要求1所述的颗粒筛选装置，其中，衬底包括硅、玻璃、石英、聚合物中至少之一。

3.根据权利要求1所述的颗粒筛选装置，其中，微孔的尺寸设置为大于至少部分目标颗粒的尺寸。

4.根据权利要求1所述的颗粒筛选装置，其中，目标颗粒包括循环肿瘤细胞。

5.根据权利要求4所述的颗粒筛选装置，其中，微孔的尺寸设置为100nm-100μm。

6.根据权利要求1所述的颗粒筛选装置，其中，根据目标颗粒的尺寸和介电特性中至少之一，来确定所述电场。

7.根据权利要求1所述的颗粒筛选装置，其中，电极被配置为接收直流电压或交流电压。

8.根据权利要求7所述的颗粒筛选装置，其中，所接收电压的幅值为0V-100V，所接收交流电压的频率为0Hz-200MHz。

9.根据权利要求1所述的颗粒筛选装置，其中，电极被配置为接收电压以使目标颗粒裂解。

10.根据权利要求1所述的颗粒筛选装置，其中，所述电极包括绕相应微孔的外周分隔开的第一电极和第二电极，其中，在该微孔处，第一电极和第二电极配置为在彼此之间产生电场。

11.根据权利要求10所述的颗粒筛选装置，还包括：配线，用于分别向第一电极和第二电极施加电压。

12.根据权利要求11所述的颗粒筛选装置，其中，阵列中微孔按行和列排列，且同一行中微孔的第一电极连接至同一配线，同一列中微孔的第二电极连接至同一配线。

13.根据权利要求10所述的颗粒筛选装置，还包括：用于分别向各微孔处的第一电极和第二电极施加电压的电压施加焊盘以及各电压施加焊盘与相应电极之间的配线。

14.根据权利要求1所述的颗粒筛选装置，其中，所述电极包括第一电极层、绝缘层和第二电极层的叠层结构，该叠层结构被配置为在第一电极层和第二电极层之间产生电场。

15.根据权利要求1所述的颗粒筛选装置，其中，电极针对各微孔分别形成，且各微孔的电极可单独选通。

16.根据权利要求1所述的颗粒筛选装置，还包括：微流控芯片，配置为引入包含目标颗粒的流体样品。