[发明专利]吸附式硅片涂布旋转台有效
| 申请号： | 201410350810.X | 申请日： | 2014-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN104096662B | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 袁国防 | 申请（专利权）人： | 青岛海之源智能技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司37105 | 代理人： | 王汝银 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市胶州市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸附 硅片 旋转 | ||
【权利要求书】：
1.一种吸附式硅片涂布旋转台，包括台面，其特征在于，在所述台面上设置有与其同心的，且呈阶梯状径向排列的圆环台，在所述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口；在所述开口的末端设置有与最内侧的所述圆环台等高的挡板，所述挡板的两端与最内侧的所述圆环台连接，在所述挡板上设置有缺口。
2.根据权利要求1所述的吸附式硅片涂布旋转台，其特征在于，所述开口包括上下左右对称设置的四个。
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