[发明专利]一种微波电子回旋共振等离子体源电磁线圈在审
| 申请号： | 201410354287.8 | 申请日： | 2014-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN104202901A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 丁育新 | 申请（专利权）人： | 大连麦斯维尔电磁设备有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 116000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微波 电子 回旋 共振 等离子体 电磁 线圈 | ||
【权利要求书】：
1.一种微波电子回旋共振等离子体源电磁线圈，包含有中空电磁线圈，其特征在于：在电磁线圈外部包覆有外部磁轭，在线圈两端包覆有外端磁轭，外部磁轭与外端磁轭相连接，将整个电磁线圈完全覆盖。
2.根据权利要求1所述的微波电子回旋共振等离子体源电磁线圈，其特征在于：在外端磁轭靠近中心口处内侧设置有环形凸起，用于增强线圈内磁感应强度梯度。
3.根据权利要求1或2所述的微波电子回旋共振等离子体源电磁线圈，其特征在于：所述的外部磁轭和外端磁轭均为软磁材料。
4.根据权利要求1或2所述的微波电子回旋共振等离子体源电磁线圈，其特征在于：所述的外部磁轭和外端磁轭由多块磁轭组件拼装组成。
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