[发明专利]一种微球聚合物涂层制备装置

权利要求书

1.一种微球聚合物涂层制备装置，包括进气管（1）、射频屏蔽罩（2）、电感线圈（3）、石英谐振腔（4）、真空室（8）；其特征在于：石英谐振腔（4）位于电感线圈（3）中，电感线圈（3）位于射频屏蔽罩（2）中；电感线圈（3）两引线从装置顶端的接线柱引出，与射频电源（10）相连；进气管（1）与石英谐振腔（4）连接，石英谐振腔（4）与真空室（8）连接；真空室（8）内设有样品架（5）、样品升降台（6）、敲击杆（7），样品架（5）与样品升降台（6）连接。

2.根据权利要求1所述的微球聚合物涂层制备装置，其特征在于：石英谐振腔（4）上端为圆柱形，下端为锥形。

3.根据权利要求1所述的微球聚合物涂层制备装置，其特征在于：电感线圈（3）的线圈匝数可调。

4.根据权利要求1所述的微球聚合物涂层制备装置，其特征在于：敲击杆（7）由螺线管、电磁铁不锈钢杆组成，不锈钢杆伸入真空室（8）与样品架（5）接触。

5.根据权利要求1所述的微球聚合物涂层制备装置，其特征在于：样品架（5）由碗状样品盘（11）、真空电机（12）及电机托架（13）构成；碗状样品盘（11）与真空电机（12）连接，真空电机（12）置于电机托架（13）内。