[发明专利]热处理装置用的腔室及热处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于在被加热的环境下对被处理物进行处理的热处理装置的腔室、以及热处理装置。

背景技术

公知有用于对玻璃基板等处理基板进行热处理的热处理装置(例如，参照专利文献1)。作为热处理装置的一个例子，专利文献1中记载的热处理装置具有热处理容器。该热处理容器是石英管。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2010－177653号公报(0017段)

近年来，随着处理基板的大型化，石英管的尺寸也有大型化的倾向。其中，由于强度方面的理由等，难以用金属制的管来代替石英管。因此，谋求更大尺寸的石英管。然而，制作大型的石英管难易程度高。具体来说，上述的石英管是单独一个部件。因此，例如在制作石英管时，会产生这样的作业：分别制作石英管的侧壁和端壁，然后，将这些大型的侧壁和端壁焊接起来。这样的焊接作业是花费劳力和时间的。

发明内容

本发明鉴于上述情况，其目的在于，对于热处理装置用的腔室，即使是大型的，也能够进一步减少制作所花费的劳力和时间。

(1)为了解决上述课题，该发明的某个方面的热处理装置用的腔室的特征在于，其具备：筒状的侧壁，其用于包围被处理物；以及端壁，其封闭所述侧壁的一方的开口部，所述腔室是将以氧化硅为主要成分的多个部件机械结合起来而形成的。

另外，上述的“机械结合”是指，将多个部件在维持彼此为单个部件的(能够分离的)状态的状态下，相互结合起来。

根据该结构，腔室由以氧化硅为主要成分的部件形成。由此，腔室的强度和耐热性优异，能够充分地承受在高温环境下的使用。并且，腔室是将多个部件机械结合起来而形成的。根据该结构，在制作腔室时，能够尽可能减少焊接多个部件这样的花费劳力和时间的作业。因此，能够不受腔室的尺寸的限制，进一步减少腔室的制作所花费的劳力和时间。依照上述内容，根据本发明，对于热处理装置用的腔室，即使是大型的，也能够进一步减少制作所花费的劳力和时间。

(2)优选的是，所述多个部件的材质包括玻璃、石英和陶瓷中的至少一种。

根据该结构，能够比较容易地实现强度和耐热性优异的腔室。

(3)优选的是，所述多个部件包括多个平板状部件和多个第1连结部件，多个所述平板状部件以整体上构成筒形的方式排列，所述第1连结部件将邻接的所述平板状部件彼此连结起来。

根据该结构，通过组合多个平板状部件，能够实现筒状的侧壁。并且，多个平板状部件例如能够以重叠的状态进行输送。因此，能够容易地进行平板状部件的输送作业、即侧壁的输送作业。并且，通过组合平面形状的平板状部件，能够形成立体形状的侧壁。由此，能够进一步减少侧壁的制造所花费的劳力和时间。

(4)更优选的是，所述多个部件包括梁状的第2连结部件，所述第2连结部件以将多个所述平板状部件彼此连结起来的方式架设于多个所述平板状部件。

根据该结构，多个平板状部件利用梁部件而相互结合。由此，能够防止侧壁的平板状部件倾倒。

(5)优选的是，所述端壁形成为平板状，并被载置于所述侧壁的一端。

根据该结构，通过在侧壁的一端载置平板状的端壁这样的简易的作业就能够实现利用端壁覆盖侧壁的一端的结构。

(6)为了解决上述课题，该发明的某个方面的热处理装置具备：上述的热处理装置用的腔室；以及气压调整机构，其用于使所述腔室内的空间的气压比所述腔室外的空间的气压高。

根据该结构，腔室由以氧化硅为主要成分的部件形成。由此，腔室的强度和耐热性优异，能够充分地承受在高温环境下的使用。并且，腔室是将多个部件机械结合起来而形成的。根据该结构，在制作腔室时，能够尽可能减少焊接多个部件这样的花费劳力和时间的作业。因此，能够不受腔室的尺寸的限制，进一步减少腔室的制作所花费的劳力和时间。依照上述内容，根据本发明，对于热处理装置用的腔室，即使是大型的，也能够进一步减少制作所花费的劳力和时间。并且，气压调整机构以使腔室内的空间的气压比腔室外的空间的气压高的方式进行动作。由此，能够抑制在腔室的外部存在的异物(颗粒)侵入到腔室内的空间。因此，即使在组装式的腔室的侧壁和端壁之间等产生间隙，也能够抑制腔室的外部的异物侵入到腔室内的空间。因此，能够抑制上述异物附着于被处理物的情况。由此，根据本发明的热处理措施，与腔室形成为单独一个部件的情况同样地，能够抑制因异物附着到被处理物造成的、被处理物产生不良的情况。

发明效果