[发明专利]极坐标读出式双楔条型阳极的二维位置灵敏探测器

权利要求书

1.一种包含楔条型阳极的二维位置灵敏探测器，包括楔条型阳极、放大所述双楔条型阳极检测到的信号的倍增器(4)，以及固定所述双楔条型阳极和所述倍增器(4)的探测器支架(6-12)。

2.根据权利要求1所述的二维位置灵敏探测器，其中所述楔条型阳极为在绝缘基底上形成的金属膜，通过光刻腐蚀或激光光刻的方法分割成由楔形电极(2)、条形电极(1)和补偿电极(3)组成的特定图案。

3.根据权利要求2所述的二维位置灵敏探测器，其中所述楔条型阳极包括两个楔形电极(2)、两个条形电极(1)和两个补偿电极(3)，分别配合组成两组对称的半圆型楔条型图案，且各电极之间彼此断路。

4.根据权利要求3所述的二维位置灵敏探测器，其中所述楔条型阳极的所述楔形电极(2)、条形电极(1)和补偿电极(3)均沿径向排列。

5.根据权利要求3所述的二维位置灵敏探测器，其中所述楔条型阳极还包括一个接地极(13)，将所述的两个对称的半圆型楔条型图案隔开。

6.根据权利要求5所述的二维位置灵敏探测器，其中所述楔形电极(2)、条形电极(1)、补偿电极(3)和接地极(13)之间均具有绝缘沟槽(14)，所述绝缘沟槽(14)的宽度为20-50μm。

7.根据权利要求1所述的二维位置灵敏探测器，其中所述楔条型阳极的金属膜的厚度为0.5-2μm，绝缘基底的厚度为1-3 mm。

8.根据权利要求1所述的二维位置灵敏探测器，其中所述楔条型阳极的金属膜为金膜，所述绝缘基底由石英玻璃制得。

9.根据权利要求1所述的二维位置灵敏探测器，其中所述探测器支架(6-12)包括压环(8)、异型弹片(9)和弹环(10)，其中所述异型弹片(9)上下分别抵靠压环(8)和弹环(10)，通过压环(8)、异型弹片(9)和弹环(10)配合来固定所述倍增器(4)。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的二维位置灵敏探测器，其中所述二维位置灵敏探测器为极坐标读出式二维位置灵敏探测器。