[发明专利]压电振子及包括该压电振子的精密位移平台

权利要求书

1.一种压电振子，其特征在于，所述压电振子的上下两个表面上分别设置有多层压电陶瓷，所述压电振子的一侧设置有陶瓷触头，其中：

所述多层压电陶瓷的每层之间及最内表面上设置有内电极，所述多层压电陶瓷的最外表面上设置有外电极，所述多层压电陶瓷的内电极采用并联的方式连接，与所述外电极相连；

所述压电振子的上下两表面上的所述多层压电陶瓷分别分为四个电极区，沿厚度方向极化，相邻两个电极区的极化方向相反；

所述压电振子的上下两个表面的四个电极区对称且连线和加电方式一致，位于同一面内的相邻两个电极区的加电方式相反。

2.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，所述压电振子的上下两个表面的多层压电陶瓷为管状一体结构，由事先被好多个电极区的带状压电陶瓷膜连续卷曲且高温烧结而成。

3.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，所述压电振子还包括上下两个表面为平面的金属圆管，所述多层压电陶瓷为片状结构且设置在所述金属圆管的上下两个表面上；

或者，所述压电振子还包括金属矩形壳，所述多层压电陶瓷为片状结构且设置在所述金属矩形壳的上下两个表面上。

4.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，所述多层压电陶瓷为片状结构，所述压电振子由两片所述多层压电陶瓷连接形成。

5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的压电振子，其特征在于，所述多层压电陶瓷的四个电极区按田字格方式均匀分布，所述多层压电陶瓷的层数为至少5层，所述陶瓷触头的数量为2个且布置在所述压电振子的两个端部。

6.一种精密位移平台，其上设置有压电振子，其特征在于，所述压电振子为权利要求1至5中任一权利要求所述的压电振子；所述精密位移平台包括上台体和下台体，其中：

所述上台体和下台体通过交叉滚子导轨连接；

所述上台体的一侧设置有氧化铝陶瓷条，所述下台体的相同一侧设置有容置壳，所述压电振子位于所述容置壳内，所述压电振子的陶瓷触头与所述氧化铝陶瓷条相接触。

7.根据权利要求6所述的精密位移平台，其特征在于，所述容置壳内设置有沿长度方向夹持所述压电振子的弹性夹子，所述弹性夹子的长度方向两端设置有碟簧。

8.根据权利要求7所述的精密位移平台，其特征在于，所述弹性夹子的长边一侧与所述容置壳之间设置有弹簧。

9.根据权利要求8所述的精密位移平台，其特征在于，所述容置壳上设置有用于调节对所述压电振子的纵向预紧力和/或横向预紧力的调节装置。

10.根据权利要求6至9中任一权利要求所述的精密位移平台，其特征在于，所述压电振子在与所述陶瓷触头相反的一侧设置有定位柱，所述弹性夹子在与所述定位柱相对应的位置设置有定位孔。