[发明专利]一种可重复利用的多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚及其制备方法

权利要求书

1.一种可重复利用的多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚，包括坩埚本体，其特征在于坩埚本体的上部设有上沿口，上沿口设置在石英坩埚本体上并可拆卸。

2.根据权利要求1所述的可重复利用的多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚,其特征在于其上沿口由内层氮化硅板与外层石墨护板组成。

3.根据权利要求1所述的可重复利用的多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚，其特征在于上沿口高度占坩埚总高度的22%-38%。

4.根据权利要求2或3所述的可重复利用的多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚，其特征在于氮化硅板的厚度为3-7mm，石墨护板的厚度为10-20mm。

5.根据权利要求1所述的可重复利用的多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚，其特征在于所述坩埚本体为高纯石英陶瓷。

6.种如权利要求1所述的石英陶瓷坩埚的制备方法，包括以下步骤：

步骤一：按照原石英坩埚的生产工艺制备石英坩埚本体；

步骤二：将氮化硅板、石墨护板通过螺栓将其进行连接成与石英坩埚本体上部相适应的形状，即为石英坩埚上沿口；

步骤三： 将上述上沿口与石英坩埚本体相连接，固定，得到用于多晶硅铸锭石英陶瓷坩埚。