[发明专利]一种步进式硅片品质分选系统在审
| 申请号： | 201410362307.6 | 申请日： | 2014-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN104259109A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 郭立;陈勇平;尹昊;樊坤;王娟;唐电 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B07C5/342;B07C5/344 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 步进 硅片 品质 分选 系统 | ||
1.一种步进式硅片品质分选系统，其特征在于，包括能在竖直方向移动的、并能将硅片传送给步进传送机构（5）上料端的上料模组（4），所述步进传送机构（5）包括主输送带（14）和多条平行的辅助输送带（13），所述主输送带靠近所述上料模组（4），所述主输送带（14）上方固定有硅片检测模组；所述多条辅助输送带（13）设置在所述主输送带远离所述上料模组（4）的一端，且与所述主输送带垂直；所述主输送带和所述多条辅助输送带之间均设有顶升换向皮带系统，且所述多条辅助输送带（13）之间的主输送带（14）、靠近所述上料模组（4）的辅助输送带与所述上料模组（4）之间的主输送带上设置有多个传感器；所述主输送带和所述辅助输送带出料端均设置有分档料盒（8）；所述硅片检测模组、传感器均与上位机（7）电连接，且所述上位机（7）根据硅片检测模组的检测结果和分类要求，控制所述硅片经所述主输送带或者所述辅助输送带传送到相应的分档料盒（8）内。
2.根据权利要求1所述的步进式硅片品质分选系统，其特征在于，所述硅片检测模组包括外观检测模组（9）、电阻率检测模组（10）、隐裂纹检测模组（11）、光致发光检测模组（12），所述外观检测模组（9）、电阻率检测模组（10）、隐裂纹检测模组（11）、光致发光检测模组（12）、传感器均与所述上位机（7）电连接。
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