[发明专利]一种基于MEMS的可调谐平顶窄带型光学滤波器

权利要求书

1.一种基于MEMS的可调谐平顶窄带型光学滤波器，其特征在于，包括有沿光路依次设置的双芯光纤准直器(1)、扩束棱镜(2)、透射式相位光栅(3)、缩束棱镜(4)和MEMS微镜(5)；

所述双芯光纤准直器(1)用于对其输入端接收的DWDM光信号进行准直处理并输出准直光束；

所述扩束棱镜(2)用于对所述准直光束进行扩束处理；

所述透射式相位光栅(3)用于对所述扩束棱镜(2)输出的光进行色散分光处理；

所述缩束棱镜(4)用于对所述透射式相位光栅(3)输出的光进行压缩处理；

所述MEMS微镜(5)用于接收所述缩束棱镜(4)输出的光，当所述缩束棱镜(4)输出的光垂直入射至所述MEMS微镜(5)时，该光信号可沿原路返回至所述双芯光纤准直器(1)，并由所述双芯光纤准直器(1)的输出尾纤输出；

工作时，通过调节所述MEMS微镜(5)的转角使得不同波长的光信号输出，实现可调谐滤波功能。

2.如权利要求1所述的可调谐平顶窄带型光学滤波器，其特征在于，所述双芯光纤准直器(1)包括输入尾纤(6)、输出尾纤(7)、双孔管(8)和准直透镜(9)；

所述输入尾纤(6)的端面和所述输出尾纤(7)的端面位于所述准直透镜(9)的前焦平面，所述MEMS微镜(5)位于所述准直透镜(9)的后焦平面；所述双孔管(8)用于容纳所述输入尾纤(6)和所述输出尾纤(7)。

3.如权利要求2所述的可调谐平顶窄带型光学滤波器，其特征在于，采用单模光纤作为所述输入尾纤(6)、多模光纤或者少模光纤作为所述输出尾纤(7)。

4.如权利要求2所述的可调谐平顶窄带型光学滤波器，其特征在于，所述准直透镜(9)为C-Lens准直透镜。

5.如权利要求1所述的可调谐平顶窄带型光学滤波器，其特征在于，从所述扩束棱镜(2)透射出来的光束在所述透射式相位光栅(3)上的入射角其中λ_c为信号光的中心波长，d为光栅常数。

6.如权利要求1所述的可调谐平顶窄带型光学滤波器，其特征在于，所述扩束棱镜(2)和所述缩束棱镜(4)均为直角棱镜，所述扩束棱镜(2)的扩束比其中α为直角棱镜的顶角、n为折射率；扩束棱镜水平翻转可得到缩束棱镜。

7.如权利要求1所述的可调谐平顶窄带型光学滤波器，其特征在于，所述扩束棱镜(2)和所述缩束棱镜(4)均镀有增透膜。

8.如权利要求1所述的可调谐平顶窄带型光学滤波器，其特征在于，所述缩束棱镜(4)和所述MEMS微镜(5)由限制因子大于1.5的MEMS微镜替代，位于所述准直透镜(9)的后焦平面。