[发明专利]基于双音叉效应的对称全解耦双质量块硅微陀螺仪

权利要求书

1.一种基于双音叉效应的对称全解耦双质量块硅微陀螺仪，其包括：

玻璃衬底(1c)，其上布置有多个金属电极，且每一所述金属电极上设有多个键合点(18a1、18a2、18a3、18a4、18a5、18a6)；

机械模块(1d)包含两子模块(1a、1b)，且两子模块(1a、1b)对称设在所述衬底上，且一所述子模块包括敏感质量块(4a)、驱动模块(5a1)、驱动反馈模块(5a2)、检测模块(6a1、6a2)、驱动支承梁(7a1、7a2)、驱动反馈支承梁(7a3、7a4)、检测支承梁(8a1、8a2、8a3、8a4)、驱动解耦梁(10a1、10a2)、检测解耦梁(9a1、9a2)、检测耦合支承梁(11a1、11a2、11a3、11a4)、以及固定锚点(13a1、13a2、13a3、13a4)；

其中，两所述敏感质量块(4a、4b)之间通过驱动耦合折叠梁(2a，2b)和横梁(3a，3b)连接，固定锚点(13a1、13a2、13a3、13a4、13a5、13a6)固接在所述衬底上的键合点(18a1、18a2、18a3、18a4、18a5、18a6)上。

2.根据权利要求1所述的一种基于双音叉效应的对称全解耦双质量块硅微陀螺仪，其特征在于：所述驱动模块(5a1)与所述驱动反馈模块(5a2)对称放置于每一所述敏感质量块(4a)的两侧，所述驱动模块(5a1)通过所述检测解耦梁(9a1)与所述敏感质量块(4a)相连；所述驱动反馈模块(5a2)通过所述检测解耦梁(9a2)与所述敏感质量块(4a)相连；两所述检测模块(6a1、6a2)对称放置于敏感质量块(4a)的另两侧，并分别通过驱动解耦梁(10a1、10a2)与敏感质量块(4a)相连；所述驱动模块(5a1)通过所述驱动支承梁(7a1、7a2)与所述固定锚点(13a1、13a2)相连，所述驱动反馈模块(5a2)通过所述驱动反馈支承梁(7a3、7a4)与所述固定锚点(13a3、13a4)相连，所述检测模块(6a1、6a2)通过所述检测支承梁(8a1、8a2、8a3、8a4)与所述固定锚点(13a1、13a2、13a3、13a4)相连。

3.根据权利要求1所述的一种基于双音叉效应的对称全解耦双质量块硅微陀螺仪，其特征在于：所述子模块(1a)沿着过其中心点的驱动方向对称，且同时沿着过其中心点的检测方向对称。

4.根据权利要求1所述的一种基于双音叉效应的对称全解耦双质量块硅微陀螺仪，其特征在于：所述金属电极包括公共电极(19a)、驱动电极(20a1、20a2)，所述驱动模块(5a1)还包括与所述公共电极(19a)连接的活动驱动梳齿(14a1、14a2)、与所述驱动电极(20a1、20a2)连接的固定驱动梳齿锚点(13a7、13a8、13a9、13a10)和设置于固定驱动梳齿锚点(13a7、13a8、13a9、13a10)上的固定驱动梳齿(15a1、15a2、15a3、15a4)。

5.根据权利要求1所述的一种基于双音叉效应的对称全解耦双质量块硅微陀螺仪，其特征在于：所述金属电极包括公共电极(19a)、驱动反馈电极(21a1、21a2)，所述驱动反馈模块(5a2)包括与所述公共电极(19a)连接的活动驱动反馈梳齿(14a3、14a4)，与所述驱动反馈电极(21a1、21a2)连接的固定驱动反馈梳齿锚点(13a11、13a12、13a13、13a14)和设置于固定驱动反馈梳齿锚点(13a11、13a12、13a13、13a14)上的固定驱动反馈梳齿(15a5、15a6、15a7、15a8)。