[发明专利]基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法

权利要求书

1.一种基板分断装置，其特征在于其包含：

第1传送部及第2传送部，在设置台上，沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔着间隔配置，且具备在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转的带部；

刻划单元，设置于该第1传送部与第2传送部之间并对该基板进行刻划；以及

跳动辊子单元，在该第1方向，设置在位于该第2传送部的上游侧的上游侧第2传送部与位于下游侧的下游侧第2传送部之间，且至少具备一对第1辊子及第2辊子；

该第1辊子位于该第2传送部的带部外侧，且该第2辊子位于该第2传送部的带部内侧；

该第1辊子及该第2辊子，在与该第1方向交叉的第2方向，形成为以可相互地往相反方向移动的方式相互连动，且形成为一体的该上游侧第2传送部与该下游侧第2传送部，可成为互为不同的动作状态；

该第1辊子及第2辊子，在该第2方向相互地往相反方向移动时，该第1辊子的移动距离与第2辊子的移动距离相同。

2.如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中该第1辊子及第2辊子的至少一者，一边维持该第2传送部的带部张力，一边与该带部接触。

3.如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中该第1辊子及第2辊子，在夹着与齿轮驱动马达连结的小齿轮而相互地对向配置的状态下，分别与啮合于该小齿轮的第1齿条及第2齿条结合。

4.如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中在该多个辊子中包含第3辊子，该第3辊子卷绕有该下游侧第2传送部的带部，且该第3辊子连结带部驱动马达。

5.如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中在该跳动辊子单元中，设置有使该上游侧第2传送部的带部的旋转停止的第1制动器，以及使该下游侧第2传送部的带部的旋转停止的第2制动器。

6.一种基板搬送方法，在包含具备在设置台上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔着间隔配置且在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转的带部的第1传送部及第2传送部，以及设置于该第1传送部与该第2传送部之间并对该基板进行刻划的刻划单元的基板分断装置中，将载置于该第2传送部的带部上的基板往该第1方向进行搬送，其特征在于：

在该基板分断装置中，在该第1方向，在位于该第2传送部的上游侧的上游侧第2传送部与位于下游侧的下游侧第2传送部之间，具备在与该第1方向交叉的第2方向以可相互地往相反方向移动的方式相互连动的至少具有一对第1辊子与第2辊子的跳动辊子单元；

在使该第1辊子位于该第2传送部的带部外侧，且使该第2辊子位于该第2传送部的带部内侧的状态下，使该第1辊子与第2辊子相互地往相反方向移动，借此使形成为一体的该上游侧第2传送部与下游侧第2传送部以互为不同的方式动作；

该第1辊子及第2辊子，在该第2方向相互地往相反方向移动时，该第1辊子的移动距离与第2辊子的移动距离相同。

7.如权利要求6所述的基板搬送方法，其特征在于其中借由该第1辊子与第2辊子的往返移动，在使该下游侧第2传送部的带部停止的状态下，使该上游侧第2传送部的带部往顺时针方向或逆时针方向旋转，且对载置于该上游侧第2传送部的带部上的基板进行刻划；

在该进行刻划的阶段，对置于停止状态的下游侧第2传送部的带部上的完成刻划的基板进行卸载；

借由一边使卷绕有该下游侧第2传送部的带部的第3辊子旋转，一边使该第1辊子及第2辊子移动，在使上游侧第2传送部的带部停止的状态下，使该下游侧第2传送部的带部旋转，对留置于该下游侧第2传送部的带部上的端材进行卸载；

亦在该端材卸载后，使该第3辊子持续旋转，使载置于该上游侧第2传送部的带部上的完成刻划的基板往该下游侧第2传送部的带部上进行搬送。

8.如权利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中该第3辊子连结带部驱动马达，且在对该基板进行刻划的阶段，使该带部驱动马达的动作停止。

9.如权利要求8所述的基板搬送方法，其特征在于其中在对该端材进行卸载的阶段，使该带部驱动马达动作。

10.如权利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中在该跳动辊子单元，设置使该上游侧第2传送部的带部的旋转停止的第1制动器，以及使该下游侧第2传送部的带部的旋转停止的第2制动器，且在对该基板进行刻划的阶段，使该第2制动器动作。