[发明专利]基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法

权利要求书

1.一种基板分断装置，其特征在于其包含：

第1传送部及第2传送部，在设置台上，沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔着间隔配置，且具备在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转移动的带部；

刻划单元，设置于该间隔并对该基板进行刻划；以及

跳动辊子单元，在该第1方向，设置在位于该第2传送部的上游侧的上游侧第2传送部与位于下游侧的下游侧第2传送部之间，且至少具备一对第1辊子及第2辊子；

该第1辊子位于该第2传送部的带部外侧，该第2辊子位于该第2传送部的带部内侧；

为了刻划该基板，在将该第1传送部的带部上的基板越过该刻划单元而往该上游侧第2传送部的带部上移动的第1刻划中，以与其连动的方式该第1辊子及第2辊子可在与该第1方向交叉的第2方向相互地往相反方向移动，在将该上游侧第2传送部的带部上的基板越过该刻划单元而往该第1传送部的带部上移动的第2刻划中，以与其连动的方式该第1辊子及该第2辊子形成为可在该第2方向往与该第1刻划的情形相反方向、且相互地往相反方向移动，且形成为一体的该上游侧第2传送部与该下游侧第2传送部，可成为互为不同的动作状态。

2.如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中该第1辊子及第2辊子，在该第2方向相互地往相反方向移动时，该第1辊子的移动距离与该第2辊子的移动距离相同。

3.如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中该第1辊子及第2辊子的至少一者，一边维持该第2传送部的带部张力，一边与该带部接触。

4.如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中该第1辊子及第2辊子，在夹着与齿轮驱动马达连结的小齿轮而相互地对向配置的状态下，该第1辊子与啮合于该小齿轮的第1齿条结合，该第2辊子与啮合于该小齿轮的第2齿条结合。

5.如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中在该多个辊子中包含第3辊子，该第3辊子卷绕有该下游侧第2传送部的带部，且该第3辊子连结带部驱动马达。

6.如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中在该跳动辊子单元中，设置有使该上游侧第2传送部的带部的旋转移动停止的第1制动器，以及使该下游侧第2传送部的带部的旋转移动停止的第2制动器。

7.一种基板搬送方法，在包含具备在设置台上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔着间隔配置且在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转移动的带部的第1传送部及第2传送部、以及设置于该间隔并对该基板进行刻划的刻划单元的基板分断装置中，将载置于该第2传送部的带部上的基板往该第1方向进行搬送，其特征在于：

在该基板分断装置中，具备跳动辊子单元，该跳动辊子单元在该第1方向，设置在位于该第2传送部的上游侧的上游侧第2传送部与位于下游侧的下游侧第2传送部之间，具有设置成可在与该第1方向交叉的第2方向移动的至少一对第1辊子与第2辊子；

该第1辊子位于该第2传送部的带部外侧，该第2辊子位于该第2传送部的带部内侧；

为了刻划该基板，在将该第1传送部的带部上的基板越过该刻划单元而往该上游侧第2传送部的带部上移动的第1刻划中，以与其连动的方式使该第1辊子及第2辊子在与该第1方向交叉的该第2方向相互地往相反方向移动，在将该上游侧第2传送部的带部上的基板越过该刻划单元而往该第1传送部的带部上移动的第2刻划中，以与其连动的方式使该第1辊子与第2辊子在该第2方向往与该第1刻划的情形相反方向、且相互地往相反方向移动，借此使形成为一体的该上游侧第2传送部与下游侧第2传送部以互为不同的方式动作。