[发明专利]电化学加工工艺及电化学加工装置

权利要求书

1.一种电化学加工工艺，其特征在于，包括：

提供一加工盘和喷嘴，加工盘的底面与工件表面平行布置，加工盘与喷嘴同步移动，喷嘴向工件表面喷射电解液，加工盘和喷嘴与电源并联连接，以构成两路电流回路，第一路电流回路由工件、电解液、加工盘和电源构成，第二路电流回路由工件、电解液、喷嘴和电源构成；

将工件表面沿工件圆心向工件外边缘划分成三个区域，含有工件圆心的区域定义为第一区域，含有工件外边缘的区域定义为第三区域，第一区域与第三区域之间的区域定义为第二区域；及

采用第一路电流回路加工工件表面的第一区域和第三区域；其中，采用所述第二路电流回路加工工件表面的第二区域。

2.如权利要求1所述的电化学加工工艺，其特征在于，所述第一区域是以工件的圆心为圆心的圆形，第二区域和第三区域是同心圆环且圆环的圆心为工件的圆心，第一区域的外侧与第二区域的内侧形成圆环形重叠部分，第三区域的内侧与第二区域的外侧形成圆环形重叠部分。

3.如权利要求2所述的电化学加工工艺，其特征在于，所述第一区域的半径大于或等于加工盘的半径，第一区域和第二区域的重叠部分的宽度为加工盘的半径，第二区域和第三区域的重叠部分的宽度为加工盘的半径。

4.一种电化学加工装置，其特征在于，包括：

腔室；

夹盘，夹盘设置在腔室内，夹盘夹持工件，夹盘能够绕其自身的中心轴旋转或垂直上升或下降；

电解液供应管道，具有旋转端和与旋转端相对的末端；

喷嘴，设置在电解液供应管道的末端；

旋转摆臂，具有旋转端和与旋转端相对的末端；

加工盘，设置在旋转摆臂的末端，加工盘能绕其自身的中心轴旋转；

致动器，连接到电解液供应管道的旋转端和旋转摆臂的旋转端，致动器驱动电解液供应管道绕电解液供应管道的旋转端旋转，致动器还驱动旋转摆臂绕旋转摆臂的旋转端转动，带动喷嘴和加工盘在工件的表面上同步移动；

电源，电源的一极与工件连接，电源的另一极与喷嘴和加工盘并联连接，以构成两路电流回路：第一路电流回路由工件、电解液、加工盘和电源构成，第二路电流回路由工件、电解液、喷嘴和电源构成；第一路电流回路和第二路电流回路之间能切换。

5.如权利要求4所述的电化学加工装置，其特征在于，致动器驱动旋转摆臂带动加工盘移动的同时加工盘绕其自身的中心轴旋转。

6.如权利要求4所述的电化学加工装置，其特征在于，加工盘的形状为圆形，加工盘由导电材料制成，加工盘的底面与工件的表面平行布置。

7.如权利要求6所述的电化学加工装置，其特征在于，所述加工盘的底面与工件表面之间的距离为0-20mm。