[发明专利]照明测试装置和照明均匀性、杂散光的测试方法

权利要求书

1.一种照明测试装置，用于对无掩模曝光装置进行照明均匀性和杂散光性能的测量，所述照明测试装置包括：

激光器，用于提供照明测试所需要的测试光线，所述测试光线入射至所述无掩模曝光装置的空间光调制器以形成调制图形；

物镜，用于将所述调制图形成像到所述无掩模曝光装置的工件台承载的基底表面；

探测光路，所述探测光路包括一感光元件，来自基底表面的部分能量成像至感光元件上；

高反射体，所述高反射体固定于所述工件台上，用于反射所述基底表面的部分能量到所述探测光路中。

2.如权利要求1所述的照明测试装置，其特征在于，所述探测光路还包括分光棱镜及中继镜组，通过所述分光棱镜将来自基底表面的部分能量导入所述中继镜组并成像至感光元件上。

3.如权利要求1所述的照明测试装置，其特征在于，还包括同步控制单元，用于所述激光器、空间光调制器和工件台的同步控制。

4.如权利要求1所述的照明测试装置，其特征在于，还包括扩束单元、可变衰减器、匀光照明单元以及分光镜单元，所述测试光线经过扩束单元、可变衰减器、匀光照明单元和分光镜单元传输至所述空间光调制器中，再返回所述分光镜单元后经过所述物镜照射至所述高反射体表面，由所述高反射体发出的载有所述基底表面的部分能量的反射光传输至所述探测光路中。

5.如权利要求1所述的照明测试装置，其特征在于，所述空间光调制器为数字微镜器件，所述数字微镜器件表面设有多个微反光镜，所述微反光镜可根据控制信号进行固定角度偏转。

6.如权利要求5所述的照明测试装置，其特征在于，所述固定角度为12°或-12°。

7.一种照明均匀性的测试方法，采用如权利要求1至6中所述的任意一种照明测试装置，所述方法包括步骤：

将所述激光器的输出功率设置在最大值；

将空间光调制器调制为第一状态，感光元件读取第一状态下各像素点读数，获得背景光强；

将空间光调制器调制为第二状态，工件台将所述高反射体带入所述物镜的视场内，感光元件利用高反射体采集所述视场内的能量，获得光强值；

将所述光强值减去所述背景光强，找出视场范围内光强最大值I_max和光强最小值I_min；

由光强最大值I_max和强最小值I_min计算出照明均匀性Un。

8.如权利要求7所述的照明均匀性的测试方法，其特征在于，所述空间光调制器为数字微镜器件，所述数字微镜器件表面设有多个微反光镜，其第一状态为所述微反光镜与基底地址电极具有-12°夹角，第二状态为所述微反光镜与基底地址电极具有12°夹角。

9.如权利要求7所述的照明均匀性的测试方法，其特征在于，所述感光元件读取第一状态下各像素点读数步骤中，由感光元件重复采集多次，并取其平均值作为所述背景光强。

10.如权利要求7所述的照明均匀性的测试方法，其特征在于，所述感光元件利用高反射体采集所述视场内的能量步骤中，由感光元件重复采集多次，并取其平均值作为所述光强值。

11.如权利要求7所述的照明均匀性的测试方法，其特征在于，由光强最大值I_max和光强最小值I_min计算出照明均匀性Un的公式为：