[发明专利]光学滤片有效
申请号: | 201410367911.8 | 申请日: | 2014-07-30 |
公开(公告)号: | CN105319632B | 公开(公告)日: | 2018-06-26 |
发明(设计)人: | 张春雷 | 申请(专利权)人: | 青岛豪雅光电子有限公司;豪雅冠得股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G02B1/11 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 王连君;陈海滨 |
地址: | 266510 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃基板 多层薄膜 光学滤片 热膨胀系数 主表面 膜缺陷 细微膜 磷酸系玻璃 氟磷酸 镀膜 薄膜 玻璃 | ||
1.一种光学滤片,其具备有相对的主表面的玻璃基板,以及在所述的玻璃基板的至少一面主表面设有多层薄膜,其特征在于:
所述的玻璃基板的厚度范围为0.15~1.0mm;以及
所述的玻璃基板的热膨胀系数,与所述的多层薄膜的各薄膜的热膨胀系数的差,都小于70/(×10-7/℃)。
2.根据权利要求1所述的光学滤片,其特征在于:所述的玻璃基板的热膨胀系数为50~200/(×10-7/℃)。
3.根据权利要求1所述的光学滤片,其特征在于:所述的玻璃基板为磷酸系玻璃,或氟磷酸系玻璃。
4.根据权利要求2所述的光学滤片,其特征在于:所述的玻璃基板为磷酸系玻璃,或氟磷酸系玻璃。
5.根据权利要求3所述的光学滤片,其特征在于:在所述的相对的主表面都设有所述的多层薄膜。
6.根据权利要求4所述的光学滤片,其特征在于:在所述的相对的主表面都设有所述的多层薄膜。
7.根据权利要求1至6任一项所述的光学滤片,其特征在于:所述的多层薄膜为反射防止膜。
8.根据权利要求7所述的光学滤片,其特征在于:所述的多层薄膜从所述的主表面至少依次由高折射率物质层、低折射率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层组成。
9.根据权利要求8所述的光学滤片,其特征在于:所述的高折射率物质层、低折射率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层依次为LaTiO3层、MgF2层、LaTiO3层与MgF2层。
10.根据权利要求9所述的光学滤片,其特征在于:所述的LaTiO3层、MgF2层、LaTiO3层与MgF2层的厚度依次为10~20nm、20~40nm、120~140nm、与80~100nm。
11.根据权利要求7所述的光学滤片,其特征在于:所述的多层薄膜从所述的主表面至少依次由高折射率物质层、中折射率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层组成。
12.根据权利要求11所述的光学滤片,其特征在于:所述的高折射率物质层、中折射率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层依次为LaTiO3层、Al2O3层、LaTiO3层与MgF2层。
13.根据权利要求12所述的光学滤片,其特征在于:所述的LaTiO3层、Al2O3层、LaTiO3层与MgF2层的厚度依次为3~15nm、40~70nm、110~130nm、与80~100nm。
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