[发明专利]靶材组件的制作方法在审
| 申请号： | 201410370004.9 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105296943A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;张涛 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴圳添;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 组件 制作方法 | ||
1.一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括：
提供靶材，所述靶材为钼硅材料；
对所述靶材的待焊接面进行喷砂处理；
在所述喷砂处理之后，对所述靶材进行冲洗处理；
在对所述靶材进行所述冲洗处理之后，对所述靶材的待焊接面进行活化处理；
在所述活化处理之后，利用化学镀工艺在所述靶材的待焊接面上形成金属镀层；
利用所述金属镀层将所述靶材与背板焊接在一起。
2.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述冲洗处理采用高压水枪进行冲洗，所述冲洗处理采用的冲洗压力为0.3Mpa～1.3Mpa。
3.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，在进行所述冲洗处理之后，且在进行所述活化处理之前，还包括除油处理的步骤。
4.如权利要求3所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述除油处理采用化学除油工艺。
5.如权利要求4所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述化学除油工艺包括化学除油液清洗阶段、热水清洗阶段和冷水清洗阶段。
6.如权利要求5所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述化学除油液为碱性化学除油液。
7.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述化学镀工艺过程中包括对所述化学镀液进行搅拌，搅拌时间为2min～3min。
8.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述化学镀工艺过程中采用pH值为4.6～4.8的化学镀液，并通过氨水调整所述化学镀液的pH值。
9.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述喷砂处理采用的砂粒为46号白刚玉，所述喷砂处理采用的空气压力范围为0.20Mpa～0.30Mpa。
10.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述活化处理采用的活化剂为硝酸、氢氟酸与水的混合溶液，所述活化处理的活化时间为50s～70s。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410370004.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
