[发明专利]进气系统及等离子体加工设备

权利要求书

1.一种进气系统，包括气源和气体管路，所述气源通过所述气体管路将反应气体输送至反应腔室内，并且在所述气体管路上设置有伴热器，用以调节所述气体管路的温度，其特征在于，所述进气系统还包括气源温控装置，所述气源温控装置用于调节所述气源的用于存储反应气体的容器的温度，所述气源温控装置包括发热元件和环形安装件，其中

所述环形安装件采用可拆卸的方式套制在所述容器的外周壁上，且所述环形安装件的内周壁面与所述容器的外周壁面相接触；

所述发热元件设置在所述环形安装件的外周壁上，用以采用热交换的方式调节所述容器的温度。

2.根据权利要求1所述的进气系统，其特征在于，所述环形安装件包括沿所述容器的周向均匀分布的至少两个分体，所述至少两个分体采用可拆卸的方式依次对接，以构成闭合的环形结构；

所述发热元件的数量与所述分体的数量相对应，且所述发热元件一一对应地设置在所述分体的外周壁上。

3.根据权利要求2所述的进气系统，其特征在于，每个发热元件包括液体管路，所述液体管路均匀缠绕在所述分体的外周壁上，通过向所述液体管路内通入不同温度的热交换液体，来调节所述容器的温度。

4.根据权利要求3所述的进气系统，其特征在于，在每相邻两个分体之间设置有一软体液体管路，所述软体液体管路用于将每相邻两个分体上的两个液体管路的入口/出口连接，从而依次将各个分体上的液体管路串联在一起。

5.根据权利要求4所述的进气系统，其特征在于，每个液体管路包括N个第一子管和N-1个第二子管，N为大于1的整数，其中，

所述N个第一子管沿所述容器的周向间隔且均匀分布，且每个第一子管输送热交换液体的方向与所述容器的轴向相互平行；

所述N-1个第二子管一一对应地将各个相邻的两个第一子管的入口/出口连接，且每个第二子管输送热交换液体的方向与所述容器的周向相互平行；

对于每相邻两个分体之间，所述软体液体管路将其中一个分体上处于液体流动最下游的第一子管的出口与其中另一个分体上处于液体流动最上游的第一子管的入口连接。

6.根据权利要求4或5所述的进气系统，其特征在于，在所述软体液体管路的外表面以及所述软体液体管路与所述液体管路的入口/出口连接处均包覆有保温材料。

7.根据权利要求4所述的进气系统，其特征在于，所述气源温控装置还包括热交换液体源和液体温控单元，其中

所述热交换液体源分别与由各个分体上的液体管路串联后获得的管路的入口和出口连接，用以通过所述入口输送向所述管路内热交换液体，同时通过所述出口回收自所述管路流出的热交换液体；

所述液体温控单元用于调节自所述热交换液体源输出的热交换液体的温度。

8.根据权利要求2所述的进气系统，其特征在于，每个发热元件包括电加热管，所述电加热管均匀缠绕在所述分体的外周壁上，通过调节加载至所述电加热管上的功率，来调节所述容器的温度。

9.一种等离子体加工设备，其包括反应腔室和用于向所述反应腔室提供反应气体的进气系统，其特征在于，所述进气系统采用权利要求1-8任意一项所述的进气系统。