[发明专利]一种调焦调平传感器测量装置

权利要求书

1.一种调焦调平传感器测量装置，用于对一待测硅片进行高度测量，所述其特征在于，所述待测硅片设置在一工件台上，所述待测硅片的上表面上设置有光刻胶或具有不同结构；其中，所述装置包括：

可调谐光源，所述可调谐光源用于提供一定频率和带宽的光；

测试光栅，用于接收来自所述可调谐光源的所述第一频率的光；

第一成像系统，用于将所述测试光栅成像于所述待测硅片上；

第二成像系统，用于将所述测试光栅在所述待测硅片上的像再次成像到参考光栅上；

参考光栅，用于与所述测试光栅干涉形成莫尔条纹；

探测器，用于记录所述莫尔条纹；

计算机，所述计算机与所述探测器、所述可调谐光源连接，用于接收所述莫尔条纹，并控制所述可调谐光源和所述探测器；

其中，所述计算机用于根据硅片上光刻胶或具体结构计算所述待测硅片的工艺相关性最小的光谱，并发送第一指令和第二指令，其中，所述第一指令发送给所述可调谐光源，用于调整所述可调谐光源的光谱；所述第二指令发送给所述探测器，用于调整所述探测器的响应谱段；

其中，所述计算机同时用于根据所述莫尔条纹获得所述待测硅片的高度信息。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述可调谐光源具体为单一光源或多个光源的组合光源。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述多个光源的组合光源包括：

第一光纤输入光源；

第二光纤输入光源；

光纤耦合器，所述光纤耦合器用于接收来自所述第一光纤输入光源和所述第二光纤输入光源的光；

其中，所述光纤耦合器将来自所述第一光纤输入光源和所述第二光纤输入光源的光合成第一光纤输出光从所述光纤耦合器的输出端输出。

4.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述多个光源的组合光源包括：

第一自由光输入光源；

第二自由光输入光源；

第一光束合束器，所述第一光束合束器接收来自所述第一自由光输入光源和所述第二自由光输入光源的光；

其中，所述第一光束合束器将来自所述第一自由光输入光源和第二自由光输入光源的光合束成第一自由输出光从所述第一光束合束器的输出端输出。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

反射镜，用于反射来自所述第一自由光输出光源的光。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

第三自由光输入光源；

第二光束合束器，所述第二光束合束器接收来自所述第一光束合束器和所述第三自由光输入光源的光；

其中，所述第二光束合束器将来自所述第一光束合束器和所述第三自由光输入光源的光合束成第二自由输出光从所述第二光束合束器的输出端输出。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述探测器包括：

第一探测器，所述第一探测器可用于检测至少两个谱段。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述探测器包括：

第二探测器，所述第二探测器用于检测第一谱段；

第三探测器，所述第三探测器用于检测第二谱段；

其中，所述第二探测器和所述第三探测器构成第一探测器阵列，所述第一探测器阵列用于检测所述第一谱段和所述第二谱段。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述探测器包括：

第四探测器，所述第四探测器用于检测第三谱段和第四谱段；

第五探测器，所述第五探测器用于检测第五谱段和第六谱段；

其中，所述第四探测器和所述第五探测器构成第二探测器阵列，所述第二探测器阵列用于检测所述第三谱段、所述第四谱段、所述第五谱段、所述第六谱段。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述工件台具有调节单元，所述调节单元用于根据所述待测硅片的形貌实时调节高度和倾斜角度。