[发明专利]制备多晶硅的系统

权利要求书

1.一种制备多晶硅的系统，其特征在于，包括：

多个还原炉，所述多个还原炉通过管道串联连接，并将上游所述还原炉产生的还原尾气供给至下游所述还原炉中；

三氯氢硅入口，所述三氯氢硅入口设置在所述管道上；

氢气入口，所述氢气入口设置在所述管道上；

三氯氢硅储罐，所述三氯氢硅储罐分别与第一个还原炉和所述三氯氢硅入口相连，用于将三氯氢硅供给至所述还原炉中；以及

氢气储罐，所述氢气储罐分别与所述第一个还原炉和所述氢气入口相连，用于将氢气供给至所述还原炉中。

2.根据权利要求1所述的制备多晶硅的系统，其特征在于，包括3～6个所述还原炉。

3.根据权利要求1所述的制备多晶硅的系统，其特征在于，进一步包括：

还原尾气返回管路，所述还原尾气返回管路分别与所述第一个还原炉和最后一个还原炉相连，用于将所述最后一个还原炉中产生的还原尾气供给至所述第一个还原炉中。