[发明专利]一种声表面波谐振器型阻抗传感器以及阻抗检测系统

权利要求书

1.一种声表面波谐振器型阻抗传感器，其特征在于，包括第一天线、匹配网络、反射栅、以及叉指换能器，所述至少反射栅、以及叉指换能器设置在压电基片上，所述匹配网络包括由至少一个电容和至少一个电感组成的最佳匹配网络，所述最佳匹配网络还并联有外部传感器，所述外部传感器为电容式或者电感式传感器。

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器型阻抗传感器，其特征在于，所述最佳匹配网络由第一电容（C1）和第一电感（L1）相串联组成，所述外部传感器并联在所述最佳匹配网络组成的串联电路的两端。

3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器型阻抗传感器，其特征在于，所述最佳匹配网络由第一电容（C1）和第一电感（L1）相串联组成，所述外部传感器并联在所述第一电容（C1）的两端。

4.根据权利要求1所述的声表面波谐振器型阻抗传感器，其特征在于，所述最佳匹配网络由第一电容（C1）和第一电感（L1）相串联组成，所述外部传感器并联在所述第一电感（L1）的两端。

5.根据权利要求1-4任一项所述的声表面波谐振器型阻抗传感器，其特征在于，所述外部传感器集成于匹配网络中或者通过导线外接入匹配网络中。

6.一种声表面波谐振器型阻抗检测系统，其特征在于，包括阅读器、信号处理模块、以及阻抗传感器，所述阅读器上设置有第二天线，所述阻抗传感器包括第一天线、匹配网络、反射栅、以及叉指换能器，所述至少反射栅、以及叉指换能器设置在压电基片上，所述匹配网络包括由至少一个电容和至少一个电感组成的最佳匹配网络，所述最佳匹配网络还并联有外部传感器，所述外部传感器为电容式或者电感式传感器。

7.根据权利要求6所述的声表面波谐振器型阻抗检测系统，其特征在于，所述最佳匹配网络由第一电容（C1）和第一电感（L1）相串联组成，所述外部传感器并联在所述最佳匹配网络组成的串联电路的两端。

8.根据权利要求6所述的声表面波谐振器型阻抗检测系统，其特征在于，所述最佳匹配网络由第一电容（C1）和第一电感（L1）相串联组成，所述外部传感器并联在所述第一电容（C1）的两端。

9.根据权利要求6所述的声表面波谐振器型阻抗检测系统，其特征在于，所述最佳匹配网络由第一电容（C1）和第一电感（L1）相串联组成，所述外部传感器并联在所述第一电感（L1）的两端。

10.根据权利要求6-9任一项所述的声表面波谐振器型阻抗检测系统，其特征在于，所述外部传感器集成于匹配网络中或者通过导线外接入匹配网络中。