[发明专利]对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法在审

专利信息
申请号: 201410377423.5 申请日: 2014-08-01
公开(公告)号: CN104134468A 公开(公告)日: 2014-11-05
发明(设计)人: 龙世兵;王国明;张美芸;李阳;许晓欣;刘红涛;吕杭炳;刘琦;刘明 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G11C29/56 分类号: G11C29/56
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: rram 存储器 耐久性 参数 进行 测试 方法
【权利要求书】:

1.一种对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,该方法包括:

步骤1:判断RRAM存储器当前所处的状态,以确定起始向RRAM存储器加载的脉冲是编程脉冲还是擦除脉冲;

步骤2:连续交替的向RRAM存储器加载编程脉冲和擦除脉冲,并在向RRAM存储器加载了10^Ln次编程脉冲和擦除脉冲后测试RRAM存储器的状态是否失效,在RRAM存储器失效时记录最后使RRAM器件失效的加载编程脉冲和擦除脉冲次数10^Ln,即得到耐久性参数为10^Ln-1次,其中Ln=n-1,n为自然数。

2.根据权利要求1所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,步骤1中所述判断RRAM存储器当前所处的状态,是通过向RRAM存储器加载一个小电压来实现的,具体包括:

向RRAM存储器加载一个小电压,读出通过RRAM存储器的电流,根据读出的电流即可判断RRAM存储器当前所处的状态是高阻态还是低阻态。

3.根据权利要求2所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,所述小电压的范围在0.1V至0.3V之间。

4.根据权利要求2所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,步骤1中所述判断RRAM存储器当前所处的状态,以确定起始向RRAM存储器加载的脉冲是编程脉冲还是擦除脉冲,如果RRAM存储器当前所处的状态是高阻态,则起始向RRAM存储器加载的脉冲是编程脉冲;如果RRAM存储器当前所处的状态是低阻态,则起始向RRAM存储器加载的脉冲是擦除脉冲。

5.根据权利要求1所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,所述步骤2包括:

在向RRAM存储器加载了10^L1次编程脉冲和擦除脉冲后即第1个测试周期,测试RRAM存储器所处的状态是否失效;在向RRAM存储器加载了10^L2次编程脉冲和擦除脉冲后即第2个测试周期,测试RRAM存储器所处的状态是否失效;以此类推,在向RRAM存储器加载了10^Ln次编程脉冲和擦除脉冲后即第n个测试周期,测试RRAM存储器所处的状态是否失效;如果在第n个测试周期,即向RRAM存储器加载了10^Ln次编程脉冲和擦除脉冲后测试RRAM存储器所处的状态,发现RRAM存储器失效,则记录最后使RRAM器件失效的次数10^Ln,即得到耐久性参数为10^Ln-1次。

6.根据权利要求1所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,步骤2中所述在向RRAM存储器加载了10^Ln次编程脉冲和擦除脉冲后测试RRAM存储器的状态是否失效,是通过向RRAM存储器加载一个小电压来实现的,具体包括:

向RRAM存储器加载一个小电压,读出通过RRAM存储器的电流,根据读出的电流即可判断RRAM存储器当前所处的状态是高阻态还是低阻态。

7.根据权利要求6所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,所述小电压的范围在0.1V至0.3V之间。

8.根据权利要求1所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,步骤2中所述连续交替的向RRAM存储器加载编程脉冲和擦除脉冲,其中一个编程脉冲和一个擦除脉冲为一个脉冲周期,且编程脉冲和擦除脉冲二者的脉冲高度和脉冲宽度保持不变。

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