[发明专利]对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法在审
申请号: | 201410377423.5 | 申请日: | 2014-08-01 |
公开(公告)号: | CN104134468A | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 龙世兵;王国明;张美芸;李阳;许晓欣;刘红涛;吕杭炳;刘琦;刘明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G11C29/56 | 分类号: | G11C29/56 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | rram 存储器 耐久性 参数 进行 测试 方法 | ||
1.一种对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,该方法包括:
步骤1:判断RRAM存储器当前所处的状态,以确定起始向RRAM存储器加载的脉冲是编程脉冲还是擦除脉冲;
步骤2:连续交替的向RRAM存储器加载编程脉冲和擦除脉冲,并在向RRAM存储器加载了10^Ln次编程脉冲和擦除脉冲后测试RRAM存储器的状态是否失效,在RRAM存储器失效时记录最后使RRAM器件失效的加载编程脉冲和擦除脉冲次数10^Ln,即得到耐久性参数为10^Ln-1次,其中Ln=n-1,n为自然数。
2.根据权利要求1所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,步骤1中所述判断RRAM存储器当前所处的状态,是通过向RRAM存储器加载一个小电压来实现的,具体包括:
向RRAM存储器加载一个小电压,读出通过RRAM存储器的电流,根据读出的电流即可判断RRAM存储器当前所处的状态是高阻态还是低阻态。
3.根据权利要求2所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,所述小电压的范围在0.1V至0.3V之间。
4.根据权利要求2所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,步骤1中所述判断RRAM存储器当前所处的状态,以确定起始向RRAM存储器加载的脉冲是编程脉冲还是擦除脉冲,如果RRAM存储器当前所处的状态是高阻态,则起始向RRAM存储器加载的脉冲是编程脉冲;如果RRAM存储器当前所处的状态是低阻态,则起始向RRAM存储器加载的脉冲是擦除脉冲。
5.根据权利要求1所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,所述步骤2包括:
在向RRAM存储器加载了10^L1次编程脉冲和擦除脉冲后即第1个测试周期,测试RRAM存储器所处的状态是否失效;在向RRAM存储器加载了10^L2次编程脉冲和擦除脉冲后即第2个测试周期,测试RRAM存储器所处的状态是否失效;以此类推,在向RRAM存储器加载了10^Ln次编程脉冲和擦除脉冲后即第n个测试周期,测试RRAM存储器所处的状态是否失效;如果在第n个测试周期,即向RRAM存储器加载了10^Ln次编程脉冲和擦除脉冲后测试RRAM存储器所处的状态,发现RRAM存储器失效,则记录最后使RRAM器件失效的次数10^Ln,即得到耐久性参数为10^Ln-1次。
6.根据权利要求1所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,步骤2中所述在向RRAM存储器加载了10^Ln次编程脉冲和擦除脉冲后测试RRAM存储器的状态是否失效,是通过向RRAM存储器加载一个小电压来实现的,具体包括:
向RRAM存储器加载一个小电压,读出通过RRAM存储器的电流,根据读出的电流即可判断RRAM存储器当前所处的状态是高阻态还是低阻态。
7.根据权利要求6所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,所述小电压的范围在0.1V至0.3V之间。
8.根据权利要求1所述的对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,其特征在于,步骤2中所述连续交替的向RRAM存储器加载编程脉冲和擦除脉冲,其中一个编程脉冲和一个擦除脉冲为一个脉冲周期,且编程脉冲和擦除脉冲二者的脉冲高度和脉冲宽度保持不变。
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