[发明专利]一种氮化锌锡多晶薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201410379727.5 | 申请日： | 2014-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN104195514B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 梁凌燕;曹鸿涛;邓福岭;刘权;李秀霞;罗浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 多晶 薄膜 制备 方法 | ||
【说明书】：
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