[发明专利]一种折射旋转扫描干涉仪有效
申请号: | 201410382154.1 | 申请日: | 2014-08-05 |
公开(公告)号: | CN104155004A | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 徐亮;冯明春;高闽光;童晶晶;李胜;李相贤;张玉钧;刘建国;刘文清 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
主分类号: | G01J3/45 | 分类号: | G01J3/45 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 230031 安徽省合肥市蜀山区蜀*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 折射 旋转 扫描 干涉仪 | ||
1.一种折射旋转扫描干涉仪,包括分束器和折射窗片,其特征在于:所述的分束器水平放置,所述的折射窗片位于分束器左侧一定距离间隔处,所述的分束器和折射窗片中间的前后对称位置分别设有平面反射镜一和平面反射镜二,还包括抛物面镜一和抛物面镜二,角镜一和角镜二,所述的抛物面镜一和抛物面镜二与平面反射镜一和平面反射镜二关于分束器中心对称,所述的角镜一和角镜二与平面反射镜一和平面反射镜二关于折射窗片中心对称;所述的抛物面镜一的焦点上设有光源,所述的抛物面镜二的焦点上设有光探测系统;
所述的光源发射的光束经抛物面镜一反射得到平行光束入射到分束器上,所述的分束器将平行光束分为反射光路上的光束一和透射光路上的光束二,所述的反射光路上的光束一依次经过平面反射镜一、折射窗片到达角镜二,所述的透射光路上的光束二依次经过平面反射镜二、折射窗片到达角镜一,所述的折射窗片高速旋转,所述的角镜二和角镜一反射光束一和光束二返回再次经过折射窗片得到光束三和光束四,所述的光束三和光束四之间具有一定的光程差,并根据光路可逆,所述的光束三和光束四沿原路返回到分束器并发生干涉产生干涉光束,所述抛物面镜二接收干涉光束并发送到探测器中进行探测。
2.根据权利要求1所述的折射旋转扫描干涉仪,其特征在于:所述的光束一和光束二在折射窗片上交与一交叉点,所述的交叉点与所述的折射窗片中心重合,所述的折射窗片中心安装有高速电机的转轴,所述的折射窗片在高速电机的控制下高速旋转。
3.根据权利要求1所述的折射旋转扫描干涉仪,其特征在于:所述的抛物面镜一和抛物面镜二为离轴抛物面镜。
4.根据权利要求1所述的折射旋转扫描干涉仪,其特征在于:所述的光程差由折射窗片的厚度d、折射率n以及折射窗片旋转角度θ共同决定,光程差为
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