[发明专利]一种SiC高温高能离子注入机用高压隔离输电装置在审
| 申请号： | 201410382427.2 | 申请日： | 2014-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN104157540A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 袁卫华;彭立波;孙雪平;易文杰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 sic 高温 高能 离子 注入 高压 隔离 输电 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种SiC高温高能离子注入机用高压隔离输电装置，包括地电位区配电柜（1）和高压区配电柜（7）；其特征在于，所述地电位区配电柜（1）将市电送入电动机（2）；所述电动机（2）的输出轴与绝缘传动轴（4）一端的法兰（5）连接，所述绝缘传动轴（4）另一端的法兰（5）与发电机（6）的输入轴连接；所述发电机（6）的电能通过高压区配电柜（7）输送至高压区需电部件（8）。
2.根据权利要求1所述的SiC高温高能离子注入机用高压隔离输电装置，其特征在于，所述电动机（2）的输出轴与所述绝缘传动轴（4）一端的法兰（5）、所述绝缘传动轴（4）另一端的法兰（5）与所述发电机（6）的输入轴之间均通过弹性膜片联轴器（3）连接。
3.根据权利要求1或2所述的SiC高温高能离子注入机用高压隔离输电装置，其特征在于，所述绝缘传动轴（4）材质为硬质尼龙或环氧玻璃纤维。
4.根据权利要求2所述的SiC高温高能离子注入机用高压隔离输电装置，其特征在于，所述弹性膜片联轴器（3）和所述法兰（5）之间通过螺栓（11）连接；所述弹性膜片联轴器（3）内部与所述螺栓（11）之间、所述法兰（5）内部与所述螺栓（11）之间均通过垫环（10）连接。
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