[发明专利]用于刻蚀太阳能电池硅片的酸性制绒液、制绒方法、太阳能电池片及其制作方法

权利要求书

1.一种用于太阳能电池硅片的酸性制绒方法，包括以下步骤：

配制用于刻蚀太阳能电池硅片的酸性制绒液；以及

将所述硅片放置于所述酸性制绒液中，升温所述酸性制绒液至预定温度，并刻蚀预定时间，以对所述硅片进行制绒，从而得到表面制绒后的硅片；

所述预定温度为40℃～80℃，所述预定时间为5～30分钟；

采用上述步骤制绒而成的制绒表面具有由多个倒金字塔构成的微结构，所述微结构为微米尺寸；

其中，所述酸性制绒液包括：

铜离子源，用于提供浓度为0.1～25mmol/L的铜离子；

氟离子源，用于提供浓度为0.5～10mol/L的氟离子；和

浓度为0.1～1.0mol/L氧化剂，能够将铜氧化为铜离子。

2.根据权利要求1所述的酸性制绒方法，其中，所述预定温度为50℃～70℃，所述预定时间为8～20分钟。

3.根据权利要求2所述的酸性制绒方法，其中，所述预定温度为50℃，所述预定时间为8分钟。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的酸性制绒方法，在将所述硅片制绒前还包括对所述硅片进行预清洗和水洗的步骤，包括：

先将所述硅片依次置于丙酮和乙醇中超声清洗，之后置于硫酸溶液和双氧水溶液的混合液中加热煮沸，再置于水中超声清洗；

其中，所述硫酸溶液的质量百分比浓度为70％，所述双氧水溶液的质量百分比浓度为35％；所述硫酸溶液与所述双氧水溶液的体积比为3:1。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的酸性制绒方法，还包括：

将制绒后的所述硅片放入硝酸或王水中超声清洗以去除所述制绒表面上的金属覆盖物；以及

对去除金属覆盖物后的所述硅片用水超声清洗，然后用高纯氮气吹干。

6.根据权利要求1所述的酸性制绒方法，其中，所述铜离子源选自氯化铜、硫酸铜和硝酸铜中的一种或多种。

7.根据权利要求1或6所述的酸性制绒方法，其中，所述氧化剂选自高锰酸钾、溴化钾、过硫酸盐和双氧水中的一种或多种。

8.根据权利要求1或6所述的酸性制绒方法，其中，所述铜离子的浓度为4～15mmol/L，所述氟离子的浓度为3～7mol/L，所述氧化剂的浓度为0.3～0.7mol/L。

9.根据权利要求1或6所述的酸性制绒方法，其中，所述铜离子源为硝酸铜，所述氟离子源为氢氟酸，所述氧化剂为双氧水。

10.根据权利要求9所述的酸性制绒方法，其中，所述铜离子的浓度为7mmol/L，所述氟离子的浓度为5mol/L，所述双氧水的浓度为0.5mol/L。

11.一种太阳能电池片的制作方法，包括对硅片制绒的步骤，所述制绒步骤采用权利要求1-3中任一项所述的酸性制绒方法制备而成。

12.一种太阳能电池片，采用权利要求11中所述的太阳能电池片的制作方法制作而成。

13.一种硅片，具有制绒表面，所述制绒表面为采用权利要求1-3中任一项所述的酸性制绒方法制绒而成，所述制绒表面具有由多个倒金字塔构成的微结构。

14.根据权利要求13所述的硅片，其中，所述制绒表面上的所述倒金字塔结构的底部呈圆滑状。

15.根据权利要求14所述的硅片，其中，所述制绒表面上倒金字塔的塔顶为四边形，所述四边形的边长为1～10μm，所述倒金字塔的深度为1～10μm。

16.根据权利要求14-15中任一项所述的硅片，其中，所述制绒表面上倒金字塔的塔顶为正方形。