[发明专利]一种压敏临时键合胶的制备方法及其应用

权利要求书

1.一种压敏临时键合胶，其特征是配方比例按重量份计如下：溶剂30-70份，基础树脂30-50份，微胶囊粒子5-30份。

2.如权利要求1所述压敏临时键合胶，其特征是：所述基础树脂为环烯烃类聚合物颗粒，粒径为0.2-20μm。

3.如权利要求1所述压敏临时键合胶，其特征是：所述溶剂为环十二烯、双环己烯、柠檬烯、5-二甲基苯、均三甲苯、环戊酮、甲基环己烷、甲基乙基酮、双戊烯、环辛烷、丁基环己烷、环庚烷和环己烷中的一种或几种的混合物。

4.如权利要求1所述压敏临时键合胶，其特征是所述微胶囊粒子结构为：内核为高分子化合物，外层包裹为天然的或合成的高分子化合物连续壁或外相，外层对内核完全包覆。

5.如权利要求4所述压敏临时键合胶，其特征是：所述高分子化合物为带有除透明色以外其他颜色的烃类聚合物，外层为环烯烃类或脂质体聚合物，壁厚为0.01-10μm。

6.如权利要求1所述压敏临时键合胶，其特征是：还包括增粘剂、低分子量环烯烃共聚物、增塑剂、抗氧剂中的一种或几种的混合物；

所述增粘剂为多萜烯树脂、β-多萜烯树脂、苯乙烯改性树脂、松香树脂、脂环族烃树脂、C5脂肪烃树脂、氢化烃树脂中的一种或几种的混合物，重量份为5-50份；

所述低分子量环烯烃共聚物的重量份为5-50份；

所述增塑剂为邻苯二甲酸酯、对苯二甲酸酯类、脂肪二羧酸酯、偏苯三酸酯、聚酯、环氧酯、烷基磺酸苯酯、柠檬酸酯类、磷酸酯和氯化石蜡中的一种或几种的混合物，重量份为0.1-50份；

所述抗氧剂为酚类抗氧剂、亚磷酸盐类抗氧剂、亚膦酸盐类抗氧剂中的一种或几种的混合物，重量份为0.1-2份。

7.权利要求1所述压敏临时键合胶的制备方法，其特征是步骤如下：

（1）微胶囊粒子的制备：将内核，即除透明色以外的高分子化合物均匀放入容器，然后加入外层，即天然的或合成的高分子化合物连续壁或外相，通过聚合反应或者凝聚反应实现外层包裹内核，最后在30-100℃下固化，得到微胶囊粒子；

（2）临时键合胶的制备：取溶剂30-70份，基础树脂30-50份，微胶囊粒子5-30份充分混合，在30-70℃内的腔体中，以250-350r/min的搅拌速度搅拌1.5-2.5h，将所得溶液进行过滤和脱气处理，即得到临时键合胶。

8.权利要求1所述压敏临时键合胶的应用，其特征是：应用于临时键合和拆键合工艺，具体步骤为：将100-800μm的载片晶圆涂覆临时键合胶5-100um厚度，并在50-250℃进行固化，使得载片晶圆和器件晶圆临时键合，形成临时键合体；对临时键合体进行背面工艺，即机械研磨、金属柱露头、背面布线；将临时键合体拆键合，即将两片粘结好的晶圆分开，检查夹层颜色；清洗载片晶圆和器件晶圆。