[发明专利]一种立体包裹式金属-氧化层-金属电容在审
| 申请号： | 201410386049.5 | 申请日： | 2014-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN104201170A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 任俊彦;向济璇;陈迟晓;陈华斌;王晶晶;许俊;叶凡;李宁 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 立体 包裹 金属 氧化 电容 | ||
【权利要求书】：
1. 一种立体包裹式金属-氧化物-金属电容，其特征在于主要包括第一金属层（101）、第二金属层（102）和第三金属层（103），其中：
所述第一金属层（101），由多层金属组成，为立体的T形结构，作为电容的内层极板；
所述第二金属层（102）和第三金属层（103），分别由多层金属组成；第二金属层（102）作为侧壁，第三金属层（103）作为顶盖设置于两个第二金属层（102）上方，通过通孔相互连接，形成一个中空的方形立体结构，作为该电容的外层极板；
所述第一金属层（101）的T形结构端头部镶嵌于第二金属层（102）和第三金属层（103）形成的中空的立方体结构之中，即电容的外层极板完全将内层极板包裹；
所述第二金属层（102）和第三金属层（103）连接成一体，其同第一金属层（101）之间设置有氧化层隔断（104）。
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