[发明专利]一种对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法

权利要求书

1.一种对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法，其包括以下步骤：

步骤一、提供一种对称式双远心投影光学系统，所述投影光学系统用于将物平面内的图形成像到像平面内，所述投影光学系统沿其光轴方向依次包括前组、孔径光阑和后组，其特征在于：所述前组和所述后组关于所述孔径光阑对称，所述前组沿光轴方向依次包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组具有负光焦度，所述第二镜组和所述第三镜组具有正光焦度；所述后组沿光轴方向依次包括第四镜组、第五镜组和第六镜组，所述第四镜组和所述第五镜组具有正光焦度，所述第六镜组具有负光焦度；

所述第二镜组最靠近像平面的透镜曲面为朝向像平面的凹面，满足：0.6<r4/Hy<8，其中，r4为所述第二镜组最靠近像平面的透镜曲面的曲率半径，Hy为物平面视场；所述第二镜组还满足：vd＝(nd－1)/(nF－nC)，nd＞1.50且vd＜54的正透镜最少有一个，其中，vd为色散系数、体现光学材料的色散程度的常数，nF为波長486nm的F线折射率，nd为波長587nm的d线折射率，nC为波長656nm的C线折射率；

所述第三镜组至少含有一个如下空气间隔满足：|(r5-r6)/(r5+r6)|<0.4，3<|(r5+r6)|/Hy<25，其中，空气间隔的物平面侧和像平面侧的曲率半径分别为r5、r6；所述第三镜组还满足：nd＜1.65且vd＞65的正透镜最少有一个，nd＞1.50且vd＜55的负透镜最少有一个；所述第三镜组还至少含有一个正透镜满足dn/dt＜0，其中n为折射率，t为温度，dn/dt为光学材料的折射率随温度变化的折射率温度系数；

步骤二、同时移动第一镜组和第六镜组这两个镜组中透镜位移量，来调节光学系统的投影倍率。

2.根据权利要求1所述的对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述第二镜组至少含有一个如下空气间隔满足：|(r2+r3)/(r2-r3)|<0.7，3<(r3-r2)/Hy<25，其中，空气间隔的物平面侧和像平面侧的曲率半径分别为r2，r3。

3.根据权利要求1所述的对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述第一镜组最靠近物平面的透镜曲面为朝向物平面的凹面，曲率半径为r1，满足：1.8<-r1/Hy<26，nd＜1.66，vd＞58。

4.根据权利要求1所述的对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述投影光学系统满足：0.1<-f1/L<2，0.05<f2/L<0.8；其中，f1为所述第一镜组的组合焦距；f2为所述第二镜组的组合焦距；L为物平面侧到像平面侧的距离。

5.根据权利要求1所述的对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述第二镜组(G2)沿光轴方向依次包括第三透镜(L3)、第四透镜(L4)、第五透镜(L5)、第六透镜(L6)，其中，第三透镜(L3)、第四透镜(L4)、第五透镜(L5)均具有正光焦度，第六透镜(L6)具有负光焦度。

6.根据权利要求1所述的对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述第三镜组(G3)沿光轴方向依次包括第七透镜(L7)、第八透镜(L8)、第九透镜(L9)、第十透镜(L10)，其中，第七透镜(L7)、第九透镜(L9)均具有负光焦度，第八透镜(L8)、第十透镜(L10)均具有正光焦度。

7.根据权利要求1所述的对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述第一镜组(G1)沿光轴方向依次包括第一透镜(L1)、第二透镜(L2)，其中，第一透镜(L1)具有负光焦度，第二透镜(L2)均具有正光焦度，在第一镜组(G1)中移动第一镜组(G1)，在与第一镜组(G1)对称的第六镜组中移动与第二透镜(L2)对称的透镜。

8.根据权利要求5所述的对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：第三透镜(L3)具有一个面向所述像平面的凸面、第四透镜(L4)与第五透镜(L5)均具有一个面向所述物平面的凸面。

9.根据权利要求6所述的对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：第七透镜(L7)为双凹透镜、第八透镜(L8)与第十透镜(L10)均为双凸透镜，第九透镜(L9)具有一个面向所述像平面的凹面。10、根据权利要求1所述的对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述投影光学系统中的透镜总数量大于等于10，且小于等于36。