[发明专利]切片装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种切片装置。

背景技术

作为从铸锭切片成具有规定的厚度的晶片的装置，存在切片装置(钢丝锯)。在现有的切片装置(例如专利文献1)中，被加工物通过垫板(用于粘接的工艺夹具)固定在工作板上。

图9表示现有的切片装置中的被加工物的安装部。安装夹具150被安装在工作板152上。在工作板152上设置有贯通孔154。贯通孔154具有支承台阶部155，在该支承台阶部155的下部具有小径孔156，在上部具有大径孔157。在贯通孔154上配置有紧固螺栓158。

侧面L字状的夹紧爪160由在垂直方向上设置的主体部162和从主体部162的下端向侧方突出的紧固部164构成，在主体部162的上面设置有螺纹孔166。通过使紧固螺栓158旋转使夹紧爪160上下移动。

由夹紧爪160构成夹紧机构。该夹紧机构夹紧垫板168。

垫板168具有设置在长方形板状的宽幅卡止部172的下表面中央部的窄幅接合部170。窄幅接合部170的下表面通过粘接剂C而粘接有被加工物140。

将垫板168的宽幅卡止部172插入工作板152的下表面与夹紧爪160的紧固部164的上表面之间，通过对紧固螺栓158进行紧固而使夹紧爪160上升，从而将宽幅卡止部172固定在工作板152和紧固部164之间。

在垫板168的宽幅卡止部172和夹紧爪160的主体部162之间形成有第一间隙部174，而且，在垫板168的窄幅接合部170与夹紧爪160的紧固部164之间形成有第二间隙部176。

【在先技术文献】

【专利文献】

专利文献1：日本特开平10-44143号公报

在专利文献1中，在将被加工物粘接在垫板后，需要进一步将垫板安装在工作板上，将被加工物固定在切片装置上所需的工序复杂，因此存在作业性差的课题。

发明内容

本发明是为解决所述课题而完成的，其目的在于，提供能够容易地安装被加工物从而能够实现作业性的提高的切片装置。

为了实现所述目的，本发明的切片装置为利用丝线(例如钢丝)对安装在梁的主面上的被加工物进行切片的切片装置，所述切片装置的特征在于，直接夹紧所述梁的侧面。

【发明效果】

根据本发明，由于直接夹紧梁，因此能够容易地安装被加工物，从而能够提高作业性。

附图说明

图1是本实施方式1中的钢丝锯的整体结构图。

图2是本实施方式1中的夹紧部分的结构图。

图3是表示本实施方式1中的松开时的姿势的结构图。

图4是表示本实施方式1中的被加工物安装顺序的图。

图5是本实施方式1中的夹持器的结构图。

图6是本实施方式1中的夹紧部分的结构图。

图7是表示本实施方式1中的夹紧力的变化的一例的图。

图8是表示本实施方式1中的夹紧力的变化的另一例的图。

图9是表示现有的工件安装夹具的结构图。

【符号说明】

1  被加工物

2  导轮

3  丝线

4  喷嘴

6a  供给侧卷轴

6b  回收侧卷轴

7  梁

12  输送轴电动机

19  控制部

21  固定侧夹持器

22  可动侧夹持器

23  进给轴

24  旋转机构

25  挡块

26  弹簧

27  棒

28  工作缸

29  旋转轴

30  底面

31  凸部

31a  第一倾斜面

31b  第二倾斜面

具体实施方式

以下，参照图1～图8说明本实施方式。

(实施方式1)

图1是本实施方式中的钢丝锯(切片装置)的整体结构图。

丝线3像绕线那样有规则地卷绕在供给侧卷轴6a上，从其抽出的丝线3被卷绕在导轮2上。以多圈卷绕在导轮2的丝线3之后卷绕在回收侧卷轴6b上而被回收。导轮2呈圆筒形状，在外周面贴附有例如聚氨酯橡胶，在该聚氨酯面上以规定的间距沿圆周方向刻设有达到100至2000处的多条槽。该导轮2配置有多个，具体而言配置有2～4个左右。一条丝线3经由各机构部且中途不切断地连接。