[发明专利]铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置

权利要求书

1.一种铱针尖，其特征在于，在锐化的＜210＞方位的单晶的前端部具有角锥结构，所述角锥结构具有通过1个{100}结晶面和2个{111}结晶面包围的＜210＞方位的前端，所述前端仅通过1个铱原子形成，将形成所述角锥结构的所述前端的所述1个铱原子作为第1层，所述第1层的正下方的第2层具有位于三角形的顶点的3个铱原子，所述第2层的正下方的第3层具有位于三角形的顶点和边的6个铱原子。

2.一种气体电场电离离子源，其特征在于，

具有权利要求1所述的铱针尖，作为释放离子束的发射器，

其具有：

离子源室，其收容所述发射器；

气体供给部，其向所述离子源室供给待离子化的气体；

导出电极，其使所述气体离子化以产生所述气体的离子，并且施加用于将所述气体的离子从所述发射器导出的电压；以及

温度控制部，其冷却所述发射器。

3.根据权利要求2所述的气体电场电离离子源，其特征在于，所述气体的主成分为氢、氮、氧、氦、氖、氩、氪和氙中的至少一种气体。

4.根据权利要求2所述的气体电场电离离子源，其特征在于，所述气体的主成分为氮。

5.根据权利要求4所述的气体电场电离离子源，其特征在于，作为所述气体的主成分的氮的纯度在99％以上。

6.一种集束离子束装置，其特征在于，具有：

权利要求2至5中的任意一项所述的气体电场电离离子源；以及

控制单元，其通过所述气体电场电离离子源产生的所述气体的离子形成集束离子束，并向试样照射所述集束离子束，进行所述试样的照射区域的观察、加工和分析中的至少一个处理。

7.一种电子源，其特征在于，

具有权利要求1所述的铱针尖，作为释放电子的针尖，

具有导出电极，其产生所述电子，并且施加用于将所述电子从所述针尖导出的电压。

8.一种电子显微镜，其具有：

权利要求7所述的电子源；以及

控制单元，其通过所述电子源产生的所述电子形成电子束，并且向试样照射所述电子束，进行所述试样的细微区域的观察和计量中的至少一个处理，其中，

该电子显微镜是扫描电子显微镜、透射电子显微镜和扫描透射电子显微镜中的至少某种电子显微镜。

9.一种电子束应用分析装置，其特征在于，具有：

权利要求7所述的电子源；以及

控制单元，其通过所述电子源产生的所述电子形成电子束，并且向试样照射所述电子束，进行所述试样的观察、计量和分析中的至少一个处理。

10.根据权利要求9所述的电子束应用分析装置，其特征在于，该电子束应用分析装置是电子束显微分析仪和俄歇电子能谱装置中的至少某种电子束应用分析装置。

11.一种离子电子复合束装置，其特征在于，具有：

权利要求2至5中的任意一项所述的气体电场电离离子源和权利要求7所述的电子源中的至少一个；以及

控制单元，其将集束离子束和电子束向试样上的同一部位照射，

至少满足以下某种情况、即所述集束离子束是从所述气体电场电离离子源获得的集束离子束以及所述电子束是从所述电子源获得的电子束。

12.一种扫描探针显微镜，其特征在于，

具有权利要求1所述的铱针尖作为探针，

具有控制单元，其在使所述探针接近试样表面的状态下进行扫描，从而计量所述试样表面的原子级别的形态和状态。

13.根据权利要求12所述的扫描探针显微镜，其特征在于，该扫描探针显微镜是扫描隧道显微镜和扫描原子间力显微镜中的至少某种扫描探针显微镜。

14.一种掩模修正装置，其特征在于，具有：

权利要求2至5中的任意一项所述的气体电场电离离子源；以及

控制单元，其通过所述气体电场电离离子源产生的所述气体的离子形成集束离子束，并且通过所述集束离子束修正光掩模的缺陷部。

15.根据权利要求14所述的掩模修正装置，其特征在于，所述集束离子束是氮离子束。